产品资料-卡尔蔡司 ORION NanoFab 多离子束显微镜

下载收藏资料分享

集3种聚焦离子束于一身的显微镜，可以实现亚 10 nm 结构的超高精度加工

快速、精准的亚 10 纳米结构加工。借助 ORION NanoFab 显微镜可在镓、氖及氦离子束之间实现无缝切换：

ORION NanoFab 集镓、氖、氦三种离子束于一身，是能实现从微米到纳米微加工的先进成像加工系统。