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瑞士INFICON Sion弧检测器
Sion
产地:
品牌:瑞士INFICON
主要技术参数:等离子体加工期间的电弧放电可造成靶和腔室损坏,因而导致基材受损并形成颗粒。随着特征尺寸的下降,微电子设备越来越容易出现电弧引发的损坏。
市场价:¥0
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