由于使用高速相机以及自行开发之检测演算法，7940可以在3分钟内检测完6吋LED晶圆，换算为单颗处理时间为15msec。7940同时也提供了自动对焦与翘曲补偿功能，以克服晶圆薄膜的翘曲与载盘的水平问题。7940可配置2种不同倍率，使用者可依晶粒或瑕疵尺寸选择检测倍率。系统搭配的最小解析度为0.5um，一般来说，可以检测1.5um左右的瑕疵尺寸。
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