Advanced Energy 的 Luxtron® 荧光温度 （FOT） 传感器利用磷光原理为等离子体蚀刻和等离子体增强沉积等关键半导体应用提供高精度温度监测。这些传感器不受射频和微波源的干扰，可实现实现尖端半导体器件的器件性能和良率所需的精确过程控制。
Luxtron M-1000 是最新的 FOT 转换器平台，具有先进的光源和改进的电子元件，可实现超低噪声。此外，还开发了两种新的专有荧光粉配方 VioLux™ 和 RubiLux™，可与 M-1000 配合使用，在 -200 至 450 °C 的扩展范围内提供低于 0.5 °C 的精度、出色的可重复性和稳定性。 这种扩展的温度范围可实现低温和高温蚀刻工艺，这两者对于蚀刻先进的高深宽比器件（如 3D NAND）都至关重要。