颠覆性的技术革新，致轻、致小，完美实现了嵌入组装在半导体制造等装置中
2.83L/min，同时测试0.1、0.3μm微小粒子
4.3英寸彩色触摸显示屏
可使用附带软件在PC上显示测试数据
设有RS-485、Ethernet、USB通讯接口
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