在10mm的宽范围内实现0.005μm或0.01μm的高分辨率和高精度,可与激光干涉仪相媲美。
紧凑的机身可以极大地促进设备本身的小型化,不仅是测量高精度零件和高精度定位和控制设备的长度测量传感器的理想选择,也适于用作测量设备的标准量规。
另有低测力规格产品:根据用途可以选择低测力规格产品,可以测量容易变形的工件及高性能胶片等。
LGH系列是带有专用计数器的套装规格。
此资料适用于以下型号
LGH-1010-B-EH | LGH-1010C-B-EH |
LGH-0510-B-EH | LGH-0510C-B-EH |