从量块No.1到No.5,每个阶差的高度逐渐降低。
使用干涉仪测量相邻阶差(在检查成绩书中以0.01μm为单位列出)。相邻阶差值精度为±0.20μm。
可选用钢制型或陶瓷型。
高度差由相邻阶差的中心测得。
此资料适用于以下型号
516-198 | 516-199 | ||||||||||||||||||
516-498 | 516-499 |
从量块No.1到No.5,每个阶差的高度逐渐降低。
使用干涉仪测量相邻阶差(在检查成绩书中以0.01μm为单位列出)。相邻阶差值精度为±0.20μm。
可选用钢制型或陶瓷型。
高度差由相邻阶差的中心测得。
此资料适用于以下型号
516-198 | 516-199 | ||||||||||||||||||
516-498 | 516-499 |