5G时代下常用的电阻率测量方法你了解多少？

吉时利源表（SMU）+上位机软件 + 四探针台

通过本套四探针测试方案，不仅读数便捷、精准度高，而且适用性强、灵活性好、误差更小。

系统提供上位机软件，内置电阻率计算公式，符合国标硅单晶电阻率测试标准，测试结束后直接从电脑端读取计算结果，方便后续数据的处理分析。提供正向/反向电流换向测试，可以通过电流换向消除热电势误差影响，提高测量精度值四探针头采用碳化钨材质，间距1毫米，探针位置精确稳定。采用悬臂式结构，探针具有压力行程。针对不同材料的待测件，提供多种不同间距，不同针尖直径的针头选项探针台具备粗/细两级高度调整，细微调整时，高度分辨率高达2微米，精密控制探针头与被测物之间的距离，防止针头对被测物的损害载物盘表面采用绝缘特氟龙图层，降低漏电流造成的测试误差。

客户使用现场

输出电流并测试电压，电阻，电阻率，电导率，薄层电阻等， 记录数据，并根据测试结果绘制曲线软件在 Windows 7/8/10 平台下使用，测试方法符合 GB/T 1551/1552 等国家测试标准提供多种修正参数帮助提高电阻率测试精度配合吉时利 2450/2460/2461 高精度源表使用，确保测试精度和一致性。

电阻率测试范围：0.001Ω⋅cm ~ 1MΩ⋅cm

电阻率的计算表达式：    ρ=RS/L  

ρ为电阻率，L为材料的长度， S为面积，R是电阻值

探针头压力合力：S 型悬臂式弹簧，合力 6~10 N

绝缘电阻：500V 下 > 1GΩ

系统误差：< 2% (<1Ω⋅cm 时，误差小于 0.5%)

探针头间距：1mm, 1.27mm, 1.59mm 可选，使用红宝石套轴，

探针游移率 < 0.2%

针尖压痕直径：25 um~450um 不同规格可选

通信接口：LAN/USB/GPIB

探针台尺寸：240mm x 160mm x 280mm