具有高前级泵能力（35 m3/h）的干式清洁泵
测试时间短：在小型和大型样品上均具有出色的性能
紧凑设计且极易操控
大型彩色触摸屏，无需任何工具即可完全旋转和拆卸
用于存放附件的集成工具箱
可连接的 DN 25 排气管，用于连接到通用的 Fab 排气管
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