源表=电源+数字表？一文看懂SMU源表

源表的名称已经清晰的告诉我们，它包含了高精度电源输出和测量，但它仅仅是电源和万用表的简单拼凑吗？为了简要说明这个问题，我列出了源表的以下几个典型的应用场景：

普通电源仪表有四个功能: 电压源Vs、电流源Is、电流表IM和电压表VM、并可与激励源和测量功能一起使用，根据被测DUT特性选择相应的模式。如下图所示:

与直流电源的输出端子V + 和V-不同，源表SMU通常是指源的输出端子为High Force、Lower Force。因此，源和测量的组合包括: VFIM、VFVM、IFVM、IFIM(V/I激励F + V/I测量M)。

通常源表SMU使用恒定的直流电压并同时测量电流。例如绝缘材料高电阻，测量电容器的绝缘电阻等。

然而，许多被测部件的DUT测量需要应用特定的激励波形，例如二极管的IV特性测量，需要在规定的电压或电流范围内，逐点改变电压V或电流I的值，测量相应的I或V，并绘制曲线; 在测量VSCEL、MOSFETs等励磁电流较大的器件时，为了避免器件特性的改变甚至熔断，通常使用脉冲代替直流励磁，等等。为了测量锂电池的交流内阻ACR，有必要将特定频率和振幅的电流正弦波注入电池;

请注意，源表SMU的最小脉冲宽度、脉冲电压和电流的上/下边缘的典型指标，以B2900系列源表为例，可以电流脉冲达到10A/100US级，或电压脉冲达到210V/1ms级; 而M9603A PXI高速源表可以输出10A/10US级的电流脉冲。

尽管源表的精度非常高，但是如果在脉冲激励或IV扫描期间测量件的特性不清晰，很可能在测量结果和实际值之间有很大的偏差。如下图所示，当测量点为蓝圈 ● 区域时，测量结果偏离实际响应点;

因此，准确测量被测DUT在激励下的电压和电流响应波形是非常重要的。然而，在传统示波器的帮助下，在源仪表测量领域观察电压或电流波形是非常重要的，然而，由于分辨率、示波器的灵敏度和噪声，这样的努力往往是徒劳的!

B2900、M9600和其他系列源表内置高分辨率数字化仪，采样率高达15MSa/s，灵活的源，测量触发机制和Quick IV软件，您可以轻松自定义测量的起始位置和测量窗口的长度。

以上描述了源表SMU的功能单元，包括四象限电压源或电流源、电压表或电流表、脉冲或任意波形发生器、精密电压和电流示波器、电压或电流扫描仪等。

二极管、三极管、光电传感器、金属氧化物半导体场效应晶体管等半导体器件或材料，由于绝缘体和导体的特性，电流范围非常大，并且不能覆盖固定范围。许多源表smu具有自动范围功能。源表根据测量信号大小自动改变其范围，以覆盖大范围挑战。最新的M9603A和M9615A PXI SMU源表采用了获得专利的无缝量程切换技术，以进一步节省量程切换时间和量程切换对信号的影响。

多通道源表的应用也非常典型。是德科技提供单/双通道桌面源表B2900和M9600 PXI源表模块，M9018B(18插槽机箱) 可构建多达85通道源表系统，或B1500半导体参数分析，支持多达10个模块。

B2900B 精密源表

M9600A PXI 源表模块

B1500A 半导体参数分析仪

最后，除了上述硬件性能的差异，软件对很多工程师来说也非常重要，如半导体器件测试时，您是否希望使用与国际最顶尖的芯片设计公司是一样的软件平台？

Easy Expert软件支持B1500A半导体参数分析仪、B15005a/B1506A功率器件参数分析、B2900系列桌面源表等硬件，它可以安装在外部计算机pc上，并使用用于Easy Expert的第三方软件控制系统专家。

Quick IV Measurement Software 软件，易于操作，清晰的图形，支持一键式I-V伏安特性扫描，支持B2900系列桌面源表和M9600 PXI模块化SMU。