M6000 多功能键合机
M6000多功能键合机是一款实现芯片与基板间的电气互连和芯片间的信息互通的手动键合设备。该设备基于超声键合原理,通过精密的机械结构与高度集成的硬件软件控制,实现金属引线与基板焊盘的紧密连接。广泛适用于半导体器件的实验室研发、产品原型试产、产品评估、产品返修等。
M6000 产品特点
高端光栅传感器为焊接带来高精度闭环压力控制,提高键合精度;
DSP锁相技术,输出稳定超声能量,保障焊点质量;
XYZ三轴锁紧采用电驱动锁紧方式,操作手感稳定可靠,容易维护;
平行四边形键合头结构,搭配垂直送线装置,可实现深腔器件焊接;
优秀的力控制算法,克服电机抖动和丢步,获得高一致性的键合尾丝;
先进的工艺设计架构,可适应复杂的焊接条件;
配置工业级触摸屏,搭载可编程软件界面,提供友好的人机交互体验。
夹持台
M6000 技术参数
型号 | M6000 |
多功能键合机 | |
焊线直径 | 金丝:15μm-100μm |
铝丝:18μm-100μm | |
金带: 50μm×12.5μm-300um×25.4μm | |
腔深 | 21mm |
键合头竖直行程 | 20mm |
键合头水平行程 | 15mm×15 mm |
可升降工作台 | 可升降高度: 20mm面积:270mm×265 mm |
超声功率 | 0-10W可调,最小精度可达0.4mW |
焊接压力 | 1-250g,1g细分步距;程序控制,界面可调 |
劈刀类型 | 16mm、19mm、25mm楔焊劈刀 |
线轴 | 1/2“或2” |
夹持台 | 0-200℃ 3英寸热台(标配),可定制 |
显微镜 | 15X放大倍率 |
人机交互界面 | 7"工业级液晶触摸屏 |
电源 | AC 220V±10%(50/60Hz)≤500W |
尺寸 | 长×宽×高:660mmX650mmx450mm |
重量 | <50kg |
标准配置 | 主机、1/2"线轴、体视显微镜、LED环形灯、夹持台〔温控器200℃) |