5225 离子棒
Simco-Ion 型号 5225 离子棒,以数码电路设计和透过软件操控,满足设备内的防静电需求。它提供高离子输出量,能快速中和晶圆上的静电,符合 E78 标准上最严格的要求。棒身以空气动力学设计和高洁净度材料制造,使得 5225 离子棒在微型洁净室内,完全发挥静电防控能力,而不干扰室内层流气流。
5225 离子棒能结合设备系统,使用预编软件或开放的源代码范例,与设备接口的无缝连接,作出低成本的静电防控方案,减低维护费用,和有更好的警报功能。系统警报和信息能交替显示在设备控制器上,另有设备监控输出作其他警报提醒。
Simco-Ion 强大的软件系统提供全面的离子棒控制,设置包括:工作模式调整 (脉冲模式,稳态模式,待机),信号同步,电离开关时间,输出功率,正负极的警报阈值,每根棒都能独立设置。精准的警报和维修检测,也能降低的故障耗时和诊断工作。
产品特点
• 能与设备控制器完全结
• 每根离子棒的参数完全可调
• 离子输出的监察
• 多种长度选择,有三款长度是专为 EFEMs 设计的
• 单晶硅静电针
优点
• 使用配置的器材 或者 透过 IonMonitor 软件 可以操控它的参数设置、运作模式和维护程序
• 在设备的每个安装区域,可以根据个别需求,微调操作参数
• 离子输出和效能稳定更能保持一致
• 可以满足不同的应用需求
• 经业内验证的超高洁净的静电针材质,不会对晶圆造成污染
5225 技术参数
型号 | 5225 |
输入电压 | 24 VAC,50/60 Hz,1W (typ),由介面模组提供 |
输出电压 | 0-20 kVDC,±10% @ 离子棒上每个极性,正负极性的输出可以通过软件的 GUI 设置 |
输出电流 | <15 μA,电流和电压限定 |
信号接口 | 介面模组的 RS-485 |
接口 | RJ-11 modular jack receptacles |
调节 | 通过单独校准离子棒的每个极性的输出电流,来达到输出和平衡的稳定性 |
脉冲定频 | 每个极性的电离开关时序,0-10 秒 @ 0.1 秒 调级,棒上的 LED 显示电离极性 |
工作模式 | 脉冲直流,稳态直流,待机 |
警报 | 警报启动 - 当离子棒不能再维持设定的离子输出量,在棒上有红色的 LED 显示,或者显示在监控软件 的 GUI 上;警报限制阈值可设定,作预防性维护。 |
静电针材质 | 单晶硅,可替换 |
预防性维护 | 维护周期 - 年度,半年度,或季度 - 取决于环境和制程的敏感度 |
臭氧产生 | <0.005 ppm |
EMI | 低于背景水平 |
符合洁净度 | ISO 14644-1 Class 1 |
LED 显示 | 正和负的红色 LED 会闪烁,表示工作。中间的红色 LED 快速闪烁表示警报。全部 3 个红色 LED 闪烁表示通信发生问题。报警也会在监控软件 的 GUI 上显示 |
体积 | 5.3H x 3.1W x (56.9,72.1,90.7,112.8,141.2,163.6,191.8 or 214.4L) cm |
重量 | 1.02 kg (56.9 cm) 长的棒 (约 每 30 cm 长度,有 0.17 kg 重量) |
封装 | ABS plastics,防火阻燃 |
保修期 | 两年有限保修 |
证书 | 符合 SEMI-47 |
5200-1M6T 介面模组 | |
输入电压 | 24 VDC,1.0A,±5% |
通信 | 以太网 (RJ-45) 或 串行线 (RS-232/DB9) |
警报输出 | 设备监控接口,继电器接地 (在 V4.0 软件版本和以上提供) |
输出接口 | 6 个 RJ-11 接口,可连接 6 根 5225 离子棒 |
体积 | 7.4H x 7.1W x 31.5L cm |
重量 | 2 kg |
LED 显示 | 电源 - 绿,通信 - 黄,警报 - 红灯 |
订购资料
91-5225U-xxR | 5225 离子棒,单晶硅针,长度 xx = -22,-28,-36,-44 ,-56,-64,-76,or -84 inch |
91-5225U-xx-SUPR | 5225 离子棒,单晶硅针,独立包装,长度 xx = -22,-28, -36,-44,-56,-64,-76 or -84 inch |
91-5200-IM6T-Vx.x | 5200-1M6T 介面模组 (x.x = 软件版本) |
33-5200 | 100-240 VAC 转 24 VDC 变压器 |