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5225

Simco-Ion 离子棒 5225

品牌名称:依工斯诺科恩

产品型号:5225

产品规格
产品介绍
• 能与设备控制器完全结
• 每根离子棒的参数完全可调
• 离子输出的监察
• 多种长度选择,有三款长度是专为 EFEMs 设计的
• 单晶硅静电针
渠道商
地址:广东省.深圳市      获取报价
产品详情

5225 离子棒

Simco-Ion 型号 5225 离子棒,以数码电路设计和透过软件操控,满足设备内的防静电需求。它提供高离子输出量,能快速中和晶圆上的静电,符合 E78 标准上最严格的要求。棒身以空气动力学设计和高洁净度材料制造,使得 5225 离子棒在微型洁净室内,完全发挥静电防控能力,而不干扰室内层流气流。

5225 离子棒能结合设备系统,使用预编软件或开放的源代码范例,与设备接口的无缝连接,作出低成本的静电防控方案,减低维护费用,和有更好的警报功能。系统警报和信息能交替显示在设备控制器上,另有设备监控输出作其他警报提醒。

Simco-Ion 强大的软件系统提供全面的离子棒控制,设置包括:工作模式调整 (脉冲模式,稳态模式,待机),信号同步,电离开关时间,输出功率,正负极的警报阈值,每根棒都能独立设置。精准的警报和维修检测,也能降低的故障耗时和诊断工作。

产品特点
• 能与设备控制器完全结
• 每根离子棒的参数完全可调
• 离子输出的监察
• 多种长度选择,有三款长度是专为 EFEMs 设计的
• 单晶硅静电针

优点
• 使用配置的器材 或者 透过 IonMonitor 软件 可以操控它的参数设置、运作模式和维护程序
• 在设备的每个安装区域,可以根据个别需求,微调操作参数
• 离子输出和效能稳定更能保持一致
• 可以满足不同的应用需求
• 经业内验证的超高洁净的静电针材质,不会对晶圆造成污染

5225 技术参数

型号

5225

输入电压

24   VAC,50/60 Hz,1W (typ),由介面模组提供

输出电压

0-20   kVDC,±10% @ 离子棒上每个极性,正负极性的输出可以通过软件的 GUI 设置

输出电流

<15   μA,电流和电压限定

信号接口

介面模组的 RS-485

接口

RJ-11   modular jack receptacles

调节

通过单独校准离子棒的每个极性的输出电流,来达到输出和平衡的稳定性

脉冲定频

每个极性的电离开关时序,0-10 秒 @ 0.1 秒 调级,棒上的 LED 显示电离极性

工作模式

脉冲直流,稳态直流,待机

警报

警报启动 - 当离子棒不能再维持设定的离子输出量,在棒上有红色的 LED 显示,或者显示在监控软件   的 GUI 上;警报限制阈值可设定,作预防性维护。

静电针材质

单晶硅,可替换

预防性维护

维护周期 - 年度,半年度,或季度 - 取决于环境和制程的敏感度

臭氧产生

<0.005   ppm

EMI

低于背景水平

符合洁净度

ISO   14644-1 Class 1

LED   显示

正和负的红色 LED 会闪烁,表示工作。中间的红色 LED 快速闪烁表示警报。全部 3 个红色 LED 闪烁表示通信发生问题。报警也会在监控软件 的 GUI 上显示

体积

5.3H   x 3.1W x (56.9,72.1,90.7,112.8,141.2,163.6,191.8 or 214.4L) cm

重量

1.02   kg (56.9 cm) 长的棒 (约 每 30 cm 长度,有 0.17 kg 重量)

封装

ABS   plastics,防火阻燃

保修期

两年有限保修

证书

符合   SEMI-47

5200-1M6T   介面模组

输入电压

24   VDC,1.0A,±5%

通信

以太网 (RJ-45) 或 串行线 (RS-232/DB9)

警报输出

设备监控接口,继电器接地 (在 V4.0 软件版本和以上提供)

输出接口

6 个 RJ-11 接口,可连接 6 根   5225 离子棒

体积

7.4H   x 7.1W x 31.5L cm

重量

2   kg

LED   显示

电源   - 绿,通信 - 黄,警报 - 红灯


订购资料

91-5225U-xxR

5225   离子棒,单晶硅针,长度 xx = -22,-28,-36,-44 ,-56,-64,-76,or -84   inch

91-5225U-xx-SUPR

5225   离子棒,单晶硅针,独立包装,长度 xx = -22,-28, -36,-44,-56,-64,-76 or -84 inch

91-5200-IM6T-Vx.x

5200-1M6T   介面模组 (x.x = 软件版本)

33-5200

100-240   VAC 转 24 VDC 变压器

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