Simco-Ion 离子棒 5225S-宜器服务网

产品详情

5225S 离子棒

作为一款单独使用的离子棒，5225S 能维持重要的参数设定，保证在每次离子棒启动时，可以持续提供良好的性能。操作参数可用手持式红外线遥控器调整；也有设备监控接口 (FMS) 可结合设备的警报系统。

智能操作作为一个数控离子产生器，5225S 离子棒提供杰出的可靠性和效能。使用手持式红外线遥控器，令设定容易和参数精准，适合对静电防控改进，小量设备，PLC 操控的系统，和洁净室工作区，提供有效稳定和可靠的防控效能。

产品特点
• 所有的参数设定都存离子棒内，不需外接控制台
• 在脉冲直流或稳态直流的工作模式，所有操作参数均可调整
• 多种长度选择，有三款长度是专为 EFEMs 设计的
• 离子输出的监控
• 设备监控接口 (FMS) 警报输出
• 单晶硅静电针

优点
• 每次系统启动工作就可持续提供的最佳效能
• 可以配合每个现场要求，微调操作
• 可以满足不同的应用需求
• 离子输出和效能稳定更能保持一致
• 警报输出可以确保工作效能
• 超高洁净的静电针材质，不会对晶圆造成污染

5225S 技术参数

型号	5225S
输入电压	24 VAC，50/60 Hz，1W (typ)
输出电压	0-20 kVDC，±10% @ 离子棒上每个极性，正负极性的输出可以通过手持式红外线遥控器设置
输出电流	<15 μA，电流和电压限定
接口	RJ-11 modular jack receptacles
调节	通过单独校准离子棒的每个极性的输出电流，来达到输出和平衡的稳定性
脉冲定频	每个极性的电离开关时序，0-10 秒 @ 0.1 秒调级，棒上的LED 显示电离极性
工作模式	脉冲直流，稳态直流，待机
警报	警报启动 - 当离子棒不能再维持设定的离子输出量，在棒上有红色的 LED 显示；警报限制阈值可设定，作预防性维护
静电针材质	单晶硅，可替换
预防性维护	维护周期 - 年度，半年度，或季度 - 取决于环境和制程的敏感度
臭氧产生	<0.005 ppm
EMI	低于背景水平
符合洁净度	ISO 14644-1 Class 1
LED 显示	正和负的红色 LED 会闪烁，表示工作。中间的红色 LED 快速闪烁表示警报。全部 3个红色 LED 闪烁表示通信发生问题
封装	ABS plastics，防火阻燃
体积	5.3H x 3.1W x (56.9, 72.1, 90.7, 112.8, 141.2, 163.6, 191.8, or 214.4) L cm
重量	1.02 kg (56.9 cm) 长的棒 (约每 30 cm 长度，有 0.17 kg 重量)
保修期	两年有限保修
证书	符合 SEMI-47
变压器套件 33-1422-01 （美式插头）
输入电压	120 VAC ±10%, 60 Hz
输出电压	24 VAC ±5% @ 500 mA (J-Box)
体积	7.7 x 4.9 x 4.0 cm
重量	0.4kg
变压器套件 33-1432-01 (欧式插头) & 33-1435-01 (英式插头)
输入电压	230 VAC ±10%, 50 Hz
输出电压	24 VAC ±5% @ 500 mA (J-Box)
体积	8.2 x 5.7 x 4.9 cm
重量	0.4kg

订购资料

91-5225SU-xxR	5225S 离子棒，单晶硅针，长度 xx = -22，-28，-36 (2 loadport EFEM)， -44，-56 (3 loadport EFEM)，-64，76 (4 loadport EFEM) or -84 inch
91-5570	手持式红外线遥控器
33-1422-01	变压器套件 120 VAC (US) 转 24 VAC 500 mA, J-Box 和 4.8m 互连接线
33-1432-01	变压器套件 230 VAC (EU) 转 24 VAC 500 mA, J-Box 和 4.8m 互连接线
33-1435-01	变压器套件 230 VAC (UK) 转 24 VAC 500 mA, J-Box 和 4.8m 互连接线