5630 离子棒
Simco-Ion Aerobar 5630 MP 离子棒能提供快速静电消散，低残余电压摆幅，和精准的离子平衡，是设计用于有严格要求的超高洁净半导体或有同类的制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合 - 产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面，这突破的技术使 5630能维持长时间的高效工作而不需清洁，相较传统脉冲 AC 技术，有更长的清洁周期。在棒长 450mm 和 600 mm 时，静电针的间距是 50 mm，棒长 850 mm 至 2350 mm 的静电针的间距是75 mm。5630 MP 离子棒标准配置是 QTC27 TurboJet 风嘴和钛金属静电针，提供高效而长清洁周期。
Aerobar 5630 MP 离子棒能容易设置和微调参数 - 输出电压，脉冲频率，正负平衡，以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。可垂直和横放安装，容易满足不同的应用环境，如机内插槽，传输带，加载和卸载进出口。
产品特点
• 调制脉冲技术
• 低摆幅电压
• 快速消除静电
• 长期效能稳定
• 选配的软件有易用的介面和宽阔的可调性
• 警报输出信号
优点
• 精准的效能和长期稳定
• 可安全靠近产品和工作面，放置距离可近至 15 cm
• 在高速的传输带和自动设备有效中和静电
• 更长的清洁周期，降低维护成本
• 在任何环境都能快速设定和容易调至最佳效能
• 能输出至设备或远端监控系统
5630 技术参数
型号
| 5630 |
输入电压 | 24 VDC ±10% |
输出电压 | 13.5 kV p-p (max)，可调 |
工作距离 | 由 15 cm 至 100 cm，根据应用需求或客户规格决定 |
脉冲定频 | 由 1 Hz 至 33 Hz，可调，默认设定 - 5 Hz |
平衡电压 | 自动平衡系统，在可控环境下，整根棒能长期保持在 <±20V @ 61 cm 工作距离 |
工作效能 | TurboJet 风嘴 :<3.5 秒 @ (±1000-100V，HEPA 下工作距离 60 cm 和 0.3 m/s 风速，
和 每风嘴供气 3 liter/min，根据 ANSI/ESD-STM3.1-2006 Ionization 标准)；OpenJet 风嘴 : 15 秒 (典型)，Vp-p 摆幅 - 80 Vp-p @ (没有吹气辅助，在棒中下面 61 cm 工作距离) |
电离技术 | 调制脉冲 (MP) 技术 |
静电针材质 | 钛 |
风嘴间距 | 可选 50 mm 或 75 mm；棒长 450 mm 和 600 mm 只可选 50 mm |
符合洁净度 | 满足 ISO 14644-1 Class 3 标准 |
供气要求 | CDA (清洁干燥压缩空气) 或 氮气 |
气压要求 | 45 psi (最大)；由选配的 8 mm 外径快速接口接入，每个风嘴输出 1-3.5 litre/min 的风量 (选配) |
臭氧产生 | < 0.05 ppm |
EMI | 低于背景水平 |
操作环境 | 15-35℃，30-60% RH，无冷凝 |
设定 | DIP 开关设定电源输入选择，有可调电位器微调操作参数 - 正负平衡，工作频率，功率输出，也可以序列埠输出连接电脑软件作调整 |
封装 | ABS chassis, 棒上不锈钢长条作回馈 |
体积 | 78H x 34W x 长度 - 450，600，850，1000，1150，1300 ，1450，1600，1750，1900，2050，2200，2350L mm |
型号
| 5601 电源分配盒 |
输入电压 | 24 VDC 提供给一组 4 根棒，组内每个端口最多需要 0.7A 电流；总电流要求 5.6A |
通信 | 有 以太网端口 (RJ-45) 连接电脑，每根棒有独立待机信号 |
警报 | 输出继电接点连地 |
输出端口 | 8 个 RJ-45 端口，每根棒接一个端口 |
LED 显示 | 电源 - 绿，通信 - 黄，警报 - 红，LAN 通信 - 蓝 |
重量 | 0.42 kg |
体积 | 3.1H x 16.0L x 9.2W cm |
订购信息
91-5630-xxxx-yy-zzzzz-01 | xxxx (棒长)：长度 - 450*，600*，850，1000，1150，1300 ，1450，1600，
1750，1900，2050，2200，2350 mm；yy ( 风嘴间距)：-50 (50 mm)，-75 (75 mm)；
zzzzz (风嘴型号) ：钛静电针的 OpenJet (QOU30) 或 TurboJet (QTC27) |
33-5601-03 | 型号 5601 电源分配盒，提供 24 VDC 输出；能供应 8 根 MP 离子棒 |
14-21241 | 型号 5601 电源分配盒的电源适配器提供 24 VDC 输出。( 电源线需另订购) |
92-5635-001 | MP 离子棒的远端串口适配器套件 |
25-0540-xx | RJ-45 的 白色 CAT-5 以太网线，xx = 06 (6 尺)，10 (10尺) ，15 (15 尺) |
28-6370 | 扁平支架，建议棒长 450 - 1150 mm 要两个，1300 - 2050 mm 要三个，2200 mm 以上要四个 |
33-22210 | 水平可转动支架，棒长 450 - 1150 mm 要两个，1300 - 2050 mm 要三个，2200 mm 以上要四个 |
32-22220 | 垂直可转动支架，一根棒需要两个，一在顶端，一在底端 |
33-21491 | 信号和电源的接线盒 (1 根 MP 棒用) |
33-25625 | 信号和电源的接线盒 和 24VDC 输出的电源适配器套件 (1 根 MP 棒用) |
33-5353 | 扁平支架连 2 颗螺钉，建议棒长 450-1150 mm 要两个，1300-2050 mm 要三个，2200 mm 以上要四个 |
