5635 离子棒
Simco-Ion Aerobar 5635 MP 离子棒能提供快速静电消散，低残余电压摆幅，和精准的离子平衡，是设计用于有严格要求的超高洁净半导体或有同类的制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合 - 产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面，这突破的技术使 5635MP 离子棒能安装在晶圆的 15 cm 距离内。同时配合超高洁净的静电针和精确的参数调整，使它达到超越 ISO Class 1 洁净水平的“Extended ISO Class 1”洁净度，适合更微小的先进技术制程。选配的吹气辅助功能，在洁净要求不高的环境，能加快离子的推送，得到更快的消散时间和有更远的工作距离。
Aerobar 5635 MP 离子棒的 MP 技术能容易设置和微调参数 - 输出电压，脉冲频率，正负平衡，以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。在棒长短于 60 cm 时，静电针的间距是 5 cm，这样能给出更浓密和更平均的离子覆盖。
产品特点
• ISO 14644-12 (0.01 mm 微粒) 洁净度
• 调制脉冲技术
• 卓越的横向均匀度
• 低电场电压
• 吹气辅助功能
• 选配的软件有易用的介面和宽阔的可调性
• 警报输出信号
优点
• 可兼容包括 14 nm 和以下的所有晶圆技术
• 精准的正负平衡，高离子输出量，和长期稳定
• 整根棒的离子平衡都一致
• 可安全靠近晶圆或光罩，放置距离可近至 15 cm
• 在快速的自动设备，能增强消除静电的能力
• 在任何环境都能快速设定和容易调至最佳效能
• 能输出至设备或远端监控系统
5635 技术参数
型号
| 5635
|
输入电压 | 24 VDC ±10% |
输出电压 | 13.5 kV p-p (max)，可调 |
工作距离 | 由 15 cm 至 100 cm，根据应用需求或客户规格决定 |
脉冲定频 | 由 1 Hz 至 33 Hz，可调，默认设定 - 5 Hz |
平衡电压 | 自动平衡系统，在可控环境下，整根棒能长期保持在 <±20V @ 61 cm 工作距离。 |
电离技术 | 调制脉冲 (MP) 技术 |
静电针材质 | 单晶硅 |
风嘴间距 | 可选 50 mm 或 75 mm；棒长 450 mm 和 600 mm 只可选 50 mm |
工作效能 | 15 秒 (典型)，Vp-p 摆幅 - 80 Vp-p @ (没有吹气辅助，在棒中下面 61 cm 工作距离) |
符合洁净度 | 兼容 ISO 14644-12 (0.01 mm 或纳米等级微粒)
和 ISO 14644- 1 Class 1 (0.1 mm 微粒) 的洁净度 (输出功率：45-50%) |
供气要求 | CDA (清洁干燥压缩空气) 或 氮气 |
气压要求 | 45 psi (最大)；由选配的 8 mm 外径快速接口接入，每个风嘴输出 1-3.5 litre/min 的风量 |
臭氧产生 | <0.05 ppm |
EMI | 低于背景水平 |
操作环境 | 15-35℃，30-60% RH，无冷凝 |
设定 | DIP 开关设定电源输入选择，有可调电位器微调操作参数 - 正负平衡，
工作频率，功率输出，也可以序列埠输出连接电脑软件作调整 |
封装 | ABS chassis, 棒上不锈钢长条作回馈 |
体积 | 78H x 34W x 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/175 0/1900/2050/2200/2350L mm |
型号
| 5601 电源分配盒 |
输入电压 | 24 VDC 提供给一组 4 根棒，组内每个端口最多需要 0.7A 电流； 总电流要求 5.6A |
通信 | 以太网 (RJ-45) 接连电脑；个别离子棒的待机输入 |
警报输出 | 继电接点连地 |
输出端口 | 8 个 RJ-45 端口，每根棒接一个端口 |
LED 显示 | 电源 - 绿，通信 - 黄，警报 - 红，LAN 通信 - 蓝 |
重量 | 0.42 kg |
体积 | 3.1H x 16.0L x 9.2W cm |
订购资料
91-5635- xxxx-yy-zzzzz | xxxx (棒长)：长度 - 450*，600*，850，1000，1150，1300 ，
1450，1600，1750，1900，2050，2200，2350 mm；
yy (风嘴间距)：-50 (50 mm)，-75 (75 mm)；zzzzz (风嘴型号) ：OpenJet (QOU30) |
33-5601-03 | 型号 5601 电源分配盒，提供 24 VDC 输出；能供应 8 根 5635 MP 离子棒 |
14-21241 | 型号 5601 电源分配盒的电源适配器提供 24 VDC 输出。(电源线需另订购) |
33-21491 | 信号和电源的接线盒 |
92-5635-001 | AeroBar MP 离子棒的远端串口适配器套件 (包括 RJ-45 分线器，USB 转 Serial 转接器，RJ-45 转 DB9转接器） |
33-25625 | 信号和电源的接线盒 和 24 VDC 输出的电源适配器套件 |
25-0540-xx | RJ-45 的 白色 CAT-5 以太网线，xx = 06 (6 尺)，10 (10 尺) ，15 (15 尺) |
28-6370 | 扁平支架，建议棒长 450-1150 mm 要两个，1300-2050 mm 要三个，2200 mm 以上要四个 |
33-22210 | 水平可转动支架，棒长 450-1150 mm 要两个，1300-2050 mm 要三个，2200 mm 以上要四个 |
32-22220 | 垂直可转动支架，一根棒需要两个，一在顶端，一在底端 |
33-5353 | 扁平支架连 2 颗螺钉，建议棒长 450-1150 mm 要两个，1300- 2050 mm 要三个，2200 mm 以上要四个 |
