In-Line fusION 紧凑型离子产生器
Simco-Ion In-Line fusION 是一款紧凑型离子产生器,能提供强大的静电控制,适用在半导体,平板显示,医疗器件的精密制程和微细环境内,在有限的空间处理局部但要输送较远的区域静电问题。In-Line fusION 的安装,操作和维护十分简易,只须安放靠近工作区,连接电源,即可开始工作,消除区内的静电。
专利自动平衡技术,无需调整或校准。这个惊人的细小紧凑装置使用钨金属静电针和提供警报输出,可集成设备系统作远端监控。利用设备电源可以多台串连工作 Simco-Ion 标配的 24 VDC 电源适配器,可串联连接 5 台。
产品特点
• 透过长管把离子输送
• 紧凑的设计
• 电离状态指示灯和远端报警输出
• 单台电源可供应多台 fusION 离子产生器
• 选配风刀,风环和氮气 (N2) 套件
优点
• 方便处理较为难以碰触的目标地方
• 可装入制程设备内有限的紧闭空间
• 标准功能,方便用户操作
• 同一电源最多可串联 5 台 fusION 离子产生器,非常适合机内多个位置的静电防护
• 能客制 In-Line fusION 以符合紧凑环境和洁净要求
In-Line fusION 技术参数
In-line fusION | |
输入电压 | 24 VDC,0.075A |
消散时间 | 见下表 |
离子平衡 | <±50V |
覆盖范围 | 30.4 x 30.4 cm @ 15.2 cm 工作距离 |
气流输入 | Clean Dry Air (CDA) or Nitrogen |
气量要求 | 23 litre/min @ 0.35 bar to 102 litre/min @ 3.5 bar |
气管接口 | 输入和输出:1/4”OD, 1/8”ID 绝缘材质管 |
输出电流 | 5 μA |
工作模式 | 稳态直流 |
静电针材质 | 钨 |
符合洁净度 | ISO 14644-1 Class 4 |
接口 | 电源输入/输出 - 4 芯 RJ-11 插头 |
LED 显示 | 电源 - 绿,警报 - 红 |
操作环境 | 15-50℃,20-65% RH,无冷凝 |
支架 | 上下有边框,可用 4 颗 #4 或 #6 螺丝钉固定 |
封装 | White Polycarbonate |
体积 | 6.4 x 3.8 x 11.4 cm (含气管接口) |
重量 | 0.136 kg |
保修期 | 两年有限保修 |
证书 | 230V, 50 Hz 120V, 60 Hz |
电源供应器 | |
输出电压 | 24 VDC |
输入电压 | 100-240 VAC,50/60 Hz |
体积 | 3.3 x 5.1 x 8.9 cm |
重量 | 0.318 kg |
订购信息
4012229 | In-Line fusION 离子产生器,钨 (W) 针 |
5051288 | fusION 离子产生器 4 根钨 (W) 针更换套件 |
4010448 | fusION 电源适配器,120 VAC/60 Hz,美/日式插头 |
4010449 | fusION 电源适配器,230 VAC/50 Hz,欧式插头 |
4010450 | fusION 电源适配器,230 VAC/50 Hz,英式插头 |
5051530 | In-Line fusION 15 cm 风刀组件 |
5051538 | In-Line fusION 30 cm 风刀组件 |
5051535 | In-Line fusION 15 cm 风环组件 |
5051539 | In-Line fusION 30 cm 风环组件 |
5051513 | In-Line fusION 氮气 (N2) 套件 |