Simco-Ion 沿线超高洁净氮气离子产生器 4214-宜器服务网

产品详情

4214 沿线超高洁净氮气离子产生器

Simco-Ion 沿线超高洁净氮气离子产生器型号 4214 是特别为了电离氮气而设计，能把电离氮气的离子送至超高洁净要求的半导体和其他高纯洁净度的制程。一般市面上的氮气离子产生器都要求在氮气流内加进少许气体以产生离子，而这个先进工艺的离子产生器采用一个小而高效的电源，就可电离氮气。
型号 4214 离子产生器利用高频交流电离技术，能提供快速的消散时间，有效地中和静电。微控处理和细小体积，能容易整合需要氮离子产生器的设备。超高洁净的设计和内置微粒采集系统，能确保是最干净的离子产生器，兼容和提供要紧半导体制程的静电中和。只需提供不间断的氮气通过型号 4214，产生的氮离子就能满足 Extended ISO Class 1 洁净度，适合在 22 nm 和以下的所有晶圆技术制程工作。

产品特点
• ISO 14644 Class 1 (0.1 μm 微粒) 和 ISO 14644 Class 12 (0.01 μm 微粒)
• 警报显示 - 低离子输出量需维护，高压电源失效，低气体流量
• 待机模式
• 自我平衡
• 气流量过低时自动关机
• 体积小巧
• +24 VDC 电源输入

优点
• 提供最洁净的离子产生器以符合超高洁净要求的制程，是在 22 nm 和以下的所有晶圆技术中最理想的静电中和工具
• 恒常监控离子产生器的工作，以保障连续工作和维持在最理想的效能
• 在待机模式下可减少用气量，又可快速启动离子产生器，迅即可工作
• 免除调较和繁琐的设定
• 避免损害产品
• 是针对设备内有限的安装空间而设计
• 可轻易整合和利用设备上的电源

4214 技术参数

型号	4214
输入电压	+24 VDC，±5% @ 0.25 A，6W (typ)
离子平衡	<±25V @ (没有外接复合管道，工作距离 15 cm，氮气流量 0.04 m3/min @ 0.365 bar)
消散时间	<10 秒 @ (±1000V 至 100V，没有外接复合管道，工作距离 15 cm，氮气流量 0.04 m3/min @ 0.365 bar)；<100 秒 @ (±1000V 至 100V，外接订制复合管道，工作距离 50 cm)
工作模式	高频交流
符合洁净度	ISO 14644 Class 1 ( 0.1 μm 微粒 ) 和 ISO 14644 Class 12 (0.01 μm 微粒)
静电针材质	单晶硅
使用气体	氮气，最低纯度 99.999%
气体流量	最小 0.04 m3/min @ 0.365 bar；建议 0.09 m3/min @ 1.71 bar；最大 0.1 m3/min @ 1.97 bar
气体温度	最高 60 °C
气体接口	输入：Swagelok® 316L SST 1/8”FNPT 适配器转至 3/8” OD tubing (#SS-600-7-2)；输出：内嵌 1/4 NPT female threaded；选配复合管道连 1/4 NPT male
操作环境	离子产生器：最高 15-60°C；复合管道据个别要求而定
控制	微控操作产生电离，自我平衡
警报	高压失效，低离子量，低气体流量
监控继电接口 1 & 2	最大 ±60 V @ 0.2A
气体过滤器	可更换，99.999% 过滤效率 @ 0.01 μm 微粒
体积	152.4 x 72.4 x 32 mm (没接复合管道)
重量	0.64 kg (没接复合管道)
封装	Stainless steel
支架	底部有两个 M5 threaded 螺孔，M5 螺丝长度不能超过 10 mm。

订购资料

91-4214UN-04	4214 离子产生器，单晶硅，氮气和 24 VDC 电压输入
91-4231-02	PEEK 歧管套件连 9” SST 管
91-4232-01	PEEK 歧管套件连 2.75” SST 管
71-24219-04	4214 的单晶硅更换套件
33-24214-41	气体过滤套件，99.99998% 效率 (气体过滤器和 2 个 O-rings)
33-4214-05	4214 的电源-信号分配盒
33-4214-15	4214 的电源-信号分配盒套件 (分配盒，24 VDC 电源供应器，线缆) (需另订以下电源线)
25-20660	美式插头电源线
25-20710	英式插头电源线
25-20735	欧式插头电源线
25-20750	中式插头电源线