NOVX 3352 / NOVX 3362 三通道离子电场监控台
Simco-Ion Novx 3352 (被动 Passive)和 Novx 3362 (主动 Active)多通道闭环离子风机控制系统,能同时侦测,量度,记录和监察多个位置的静电电压。 系统使用的多功能天线选配能在各种应用中使用,包括监控静电敏感的工作站,设备内的静电电压,或电离产生器的性能,并可选择闭环控制离子风机。单台系统最多可连接共 6 个天线(3 个多功能天线和 3 个 ESD 事件侦测件天线)。
这多通道功能为多个区域或多台电离产生器提供了具有成本效益的监控解决方案。使用软体 Calibrator_Reader,数据输入被主动监控并记录时间戳。仪器设有用户可设置的阈值和报警级别,与报警输出接口时,可为主要区域提供主动保护。超出范围的情况时能触发远程报警灯或声响报警,关闭关键过程,或调整离子风机。
产品特点
• 数码微处理操控的控制台,多通道,数码 I/O,辅助 I/O,本地寻址性,RS-485/Modbus 或,Ethernet 数据输出
• 被动(不需电源)和主动天线配置
• 精确分辨率
• 可编程的闭环控制用于多达 3 台 SSDC 离子风机 或一台 3 风扇的离子风机
• 可编程的报警设定点,有设备关闭选项
• 电压/极性显示,每个通道在控制台上有红/绿 LED 表示状态
• MiniPulse 对静电放电事件的侦测
优点
• 与其他监控方案相比,易于集成,有成本/性能优势,能与其他 Novx 仪器或设备控制台直接通信
• 多样各种应用:在远距离监测静电电压和离子平衡;在位执行消散时间测试,而不需要增加使用 CPM 的费用
• 测量并记录电压至 0.1V
• 根据离子平衡或消散时间测试结果,对离子风机启用闭环反馈控制
• 降低制程异动,减少废料/返修,提高工艺产量
• 仪器上的视觉指示灯
• 由静电放电(ESD)关连静电荷(ESC)的影响
NOVX 3352 / NOVX 3362 技术参数
Model 3352 | Model 3362 | |
输入电源 | 24 VDC | 24 VDC |
负载容量 | 1,2 or 3 fans | 1,2 or 3 fans |
检测范围 | 0 to ±5000V | 0 to ±150V |
精准度 | 0.5V for<20v;±5% for="">20V | 1V for<20v; for="">20V |
声响报警设定点 | ±0.5V (min) | ±1V (min) |
通道 LED 显示 | 红/绿 或报警指示灯 | 红/绿 或报警指示灯 |
报警设定点 | 可编程 | 可编程 |
零点设定点 | 可编程 | 可编程 |
辅助输出 | 集电极开路 | 集电极开路 |
输出信号 | 数码 | 数码 |
可接天线数量 | 被动/ESD : 最多 3 通道 | 主动/ESD : 最多 3 通道 |
消散时间测试 | 没有 | 最多 3 通道 |
通信 | Novx Comm,RS-485/Modbus,Ethernet | Novx Comm,RS-485/Modbus,Ethernet |
数字显示/通道 | 4 位数字 | 4 位数字 |
体积 | 5.1W x 17.3D x 16.5H cm | 5.1W x 17.3D x 16.5H cm |
重量 | 0.95 kg | 1 kg |
封装 | Stainless Steel | Stainless Steel |
保修期 | 两年有限保修 | 两年有限保修 |
Power Adapter 14-21327 | ||
输入电源 | 100-240 VAC 50/60 Hz | |
输出电源 | 24 VDC,30W | |
体积 | 10.3H x 4.2W x 2.9D cm | |
重量 | 140g |
订购资料
91-3352-01 | Novx 3352 被动多通道闭环离子风机控制台 |
91-3362-01 | Novx 3352 主动多通道闭环离子风机控制台 |
32-0220 | L 型安装支架(每控制台要两个) |
33-0520-5 | 被动天线,1.75” x 1”高,连 5 ft SMA-to-SMA 线缆 |
33-0504 | 被动天线,1.75” x 4”高,连 5 ft SMA-to-SMA 线缆 |
33-0510-xx | 被动天线,1” 高,连 xx ft SMA-to-SMA 线缆(xx=5 或 15) |
33-0509-15 | 主动天线组件,5”x 0.5”高,连 15 ft Triaxial 线缆 |
33-0523-XX | 主动天线组件,1.75”x 1”高,连 xx ft Triaxial 线缆(xx=5 或 20) |
33-0507-5 | 主动天线组件,1.75”x 4”高,连 5 ft Triaxial 线缆 |
33-0530-8 | 微型 ESD 定向天线组件 MPA-02 连 8 ft Triaxial 线缆 |
14-21327 | 100-240 VAC 转 24 VDC 的电源供应器 |