钢研纳克 场发射扫描电子显微镜 FE-1050系列

1.电子光学系统

电子枪

Schottky   场发射型

物镜类型

非浸没电磁复合透镜

加速电压

0.02-30KV

束斑电流

10pA   至 30nA（100nA 选配）

放大倍数

10x   - 1,000, 000x

分辨率

SE

1.5nm(1KV)、0.9nm(15KV)

BSE(选配)

2.5nm(1KV)、1.5nm(15KV)

STEM

0.8nm（30KV）

2.真空系统

离子泵（IGP）

25   L/s+2X20L/s

涡轮分子泵（TMP）

250   L/s (N2)

前级真空泵

15m³/h   机械泵、无油涡旋机械泵（选配）

电子枪真空

<1.0x10-7   Pa

主样品室极限真空

<1.0x10-4   Pa

样品室接口数

27   个

预抽室

50mm   样品托盘自动送样
  4/6 英寸晶圆自动送样（选配）

预抽室光学导航

3.样品运动平台

样品台行程

X

140mm

Y

140mm

Z

60mm

R

连续   360°

T

-10°~80°

重复定位精度

X/Y/Z≤1um（选配）

样品最大承重

5kg

4.图像处理系统

最小驻留时间

20ns

采集方式

4 通道同步采集

最大图像分辨率

24kx24k   像素

5.数据处理系统

CPU

Intel   Xeon E5 及以上处理器

内存

32G

显卡

显存≥24G，位宽≥384bit

显示器

34   英寸超宽屏显示器

控制台

人体工程学可升降操控台

6.探测器系统

检测器

In-Column   SE 探测器
  ET- SE 探测器
  插入式 BSE 探测器（选配）
  STEM 探测器（选配）
  红外 CCD 主腔室监控-3 路

附件（选配）

斜插式能谱仪（EDS）
  平插式能谱仪（Flat-EDS）
  波谱仪（WDS）
  电子背散射衍射仪（EBSD）
  阴极荧光探测器（CL）
  聚焦离子束（FIB）
  原位拉伸加热台/制冷台
  冷冻转移样品仓等第三方附件设备