中图 五轴全自动光学3D表面轮廓仪 SuperView W5

SuperView W5 五轴全自动光学3D表面轮廓仪

SuperView W5 光学3D表面轮廓仪主要用于对不规则工件的表面粗糙度、波纹度进行高精度测量，在五轴位移台（XYZ位移轴、偏摆旋转平台）及工装夹具的配合下，根据提供的工件模型实现快速定位，并可根据在软件中输入的指定坐标位置自动调整五轴台的位移使得白光测量头能够快速位移到工件上指定的坐标位置并进行测量并获取测试数据，并在后续由软件进行分析，获取关于粗糙度、波纹度的2D/3D数据。

SuperView W5 光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

产品功能

1)样件测量能力：满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；

2)自动测量功能：自动单区域测量功能、自动多区域测量功能、自动拼接测量功能；

3)编程测量功能：可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动测量功能，实现一键测量；

4)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；

5)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。

6)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；

应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC
3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差
超精密加工.光学透镜	精密加工.发动机叶片
精密加工.金字塔型金刚石磁头	标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度

应用案例：