ULTRA 404 超高精度CNC影像测量机
ULTRA QUICK VISION是实现测量精度E1XY(0.25+2L/1000)μm的高精度CNC影像测量机。
X, Y, Z各轴采用本公司开发的高分辨力(0.01μm)、高精度的低热膨胀玻璃标尺。
Y轴采用高刚性固定桥式移动工作台设计,底座采用具热稳定性强的岩石平板。
标配有使用测量机主机温度传感器和工件温度传感器的自动温度补偿功能。
产品型号
型号 | 测量范围:X轴最大(mm) | Y轴最大(mm | Z轴最大(mm) |
ULTRA 404 | 400 | 400 | 200 |
技术参数
名称 | ULTRA QV 404 | ||
标准机型 | QV-U404P1N-D | QV-U404T1N-D | |
测量范围 [mm] | 400×400×200 | ||
观察装置※1 | 程控电动转塔 1X - 2X - 6X | ||
跟踪自动对焦装置 | — | √ | |
照明装置 | 透射照明 | 卤素 | |
垂直反射照明 | 卤素 | ||
程控环形照明 | 卤素 | ||
光栅尺分辨力 [µm] | 0.01 | ||
影像测量精度 [µm]※2 | E1X,E1Y | (0.25+L/1000) | |
E1Z(50 mm 行程) | (1.0+2L/1000) | ||
E1Z(全行程) | (1.5+2L/1000) | ||
E2XY | (0.5+2L/1000) | ||
激光自动对焦重复精度 [µm] | — | σ ≤0.8 |