QV HYBRID TYPE1 复合型测量机
QV HYBRID TYPE1是配备非接触式位移传感器, 可利用扫描功能测量细微阶差和3D形状的复合型测量机。
位移传感器的检测方法采用双针孔测量原理。与刀口法和三角测量法相比具有激光线束方向性小的特点。
激光光斑直径只有约2 μm, 可支持细微形状的测量。
产品型号
型号 | 测量范围:X轴最大(mm) | Y轴最大(mm | Z轴最大(mm) |
Apex 302 Pro Hybrid Type 4 | 300 | 200 | 200 |
Apex 404 Pro Hybrid Type 4 | 400 | 400 | 250 |
Apex 606 Pro Hybrid Type 4 | 600 | 650 | 250 |