日本三丰 复合测量机 MiSCAN Vision System系列

MVS HYPER 302

MVS HYPER 404

MVS 404 Apex

型号

MVS-H302P1L-D

MVS-H404P1L-D

MVS-X404P1L-D

测量范围

影像

300×200×200mm

400×400×250mm

MPP-NANO/SP25M

175×200×200mm

275×400×250mm

最小分辨力/测长装置

0.02µm/线性编码器

0.1µm/线性编码器

影像装置

B&W   CCD相机

倍率装置

电动转塔(1x-2x-6x)

照明装置

反射、透射、PRL照明

接触式测头

MPP-NANO/SP25M

仅SP25M

测量精度 [µm]

影像※1

E1X,   E1Y

0.8+2L/1000

1.5+3L/1000

E1Z

1.5+2L/1000

1.5+4L/1000

E2XY

1.4+3L/1000

2.0+4L/1000

MPP-NANO

E0MPE

1.9+4L/1000

─

SP25M

E0MPE

1.9+4L/1000

2.5+6L/1000

扫描精度[µm]

MPP-NANO

0.6

─

SP25M

MPETHP

2.5

2.7

检测精度[µm]

MPP-NANO

0.6

─

SP25

PFTU,MPE

1.9

2.2

重复精度σ[µm]

MPP-NANO

0.05

─

精度保证温度

环境温度

18～23℃

温度变化

0.5℃/1H和1℃/24H

工作台玻璃尺寸

399×271mm

493×551mm

工件的最大质量※2

15kg

30kg

40kg

主机外观尺寸

859×951×1609mm

1407×1027×1778mm

主机质量(包括安装台)

360kg

579kg