日本三丰 细微形状测量系统 UMAP Vision System TYPE2系列

Hyper UMAP 302

型号

UVS2-H302P1L-D

UVS2-U404P1N-D

测量范围(X×Y×Z)

300×200×200mm

400×400×200mm

玻璃台面的有效测量范围：360×400×200mm   ※1

有效测量范围(影像，UMAP103通用)

185×200×175mm

285×400×175mm

观察装置※2

程控电动转塔   1x,2x,6x

程控电动转塔   1x,2x,6x

分辨力

0.02µm

0.01µm

摄像装置

B&W   CCD

照明装置

垂直反射照明

白色LED

卤素

透射照明

白色LED

卤素

程控环形照明

白色LED

卤素

测量精度※3

影像

E1XY轴

(0.8+2L/1000)µm

(0.25+L/1000)µm

E1Z轴(50mm行程)※4

—

(1.0+2L/1000)µm

E1Z轴(全行程)

(1.5+2L/1000)µm

(1.5+2L/1000)µm

E2XY平面

(1.4+3L/1000)µm

(0.5+2L/1000)µm

精度保证光学条件

2.5倍物镜   ＋ 中倍管透镜

5倍物镜   ＋ 中倍管透镜

UMAP

E1XY轴(UMAP110)※5

(1.7+3L/1000)µm

(1.5+3L/1000)µm

UMAP重复精度※3   ※6

UMAP101、103、107

σ=0.1µm

σ=0.08µm

UMAP110、130

σ=0.15µm

σ=0.12µm

影像重复精度※3

—

3σ=0.2µm

精度保证温度

环境温度

18～23℃

19～23℃

温度变化

0.5℃/1H   和 1℃/24H

载物玻璃的大小

399×271mm

493×551mm

最大工件质量   ※7

15kg

40kg

主机外观尺寸

859×951×1609mm

1200×1735×1910mm

主机质量(包括安装台)

370kg

2160kg

使用空气压力

0.4MPa(气源压力压须为0.5～0.9MPa)

空气流量   ※8

无

300L/min   (ANR)

温度补偿功能

自动温度补偿