日本三丰 半导体检测用显微镜单元 FS-70系列

货号

378-165-1

—

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378-166-1

378-167-1

可变角度目镜规格

型号

—

FS70Z-TH

FS70ZD-TH

FS70L-TH

FS70L4-TH

货号

—

378-165-3

请咨询

378-166-3

378-167-3

正立正像

观察成像

BF (明视场)

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BD (明/暗视场)

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偏振光

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微分干涉对比(DIC)

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光学镜筒类型

10X(视场数24)、20X(视场数12)

镜筒

三眼镜筒

视场数

24   mm

可调瞳距

西登托夫型，瞳距调节范围   51 ～ 76mm

俯角

0º - 20º (仅限-TH)，眼点移动量约114mm

光路

固定式

(目镜/TV＝50% / 50%)

切换式

(目镜/管径＝100%/ 0% : 0% / 100%)

固定式*3

(目镜 / TV＝50% / 50%)

切换式

(目镜 / 管径＝100% / 0% : 0% / 100%)

相机接口

C-mount   (使用适配器B*1) 使用适配器B齐焦调整

C-mount   (齐焦调整机构)

C-mount插座(带绿色滤光片切换功能)(齐焦调整机构)

防护滤光片

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内置激光滤光片

成像(镜筒)透镜

内置1X   - 2X变焦(可见光校正)

内置1×(近红外-可见-近紫外校正)

内置1×(可见光/紫外校正)

激光接口

使用激光

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放大倍数：1X

波长：355/532/1064   nm

放大倍数：1X   波长：266/532 nm

相机接口

YAG激光振荡器

(基波，二次/三次谐波)可安装

YAG激光振荡器

(二次   /四次谐波)可安装

对焦部

粗微动

单轴粗动(粗动：3.8mm/1转，微动：0.1mm/1转)

移动量

50mm、左右手柄

反射照明光学系统

用于明视场的反射照明(科勒照明，带孔径光阑)

照明装置(选件)

12V、100W光纤照明装置(No.378-700DC)/15V、150W光纤照明装置(No.176-316DC)全无级调光，光导长度=1500mm

转塔(必选)

调心齐焦手动转塔4孔/调心电动转塔5孔

手动转塔4孔/电动转塔4孔

调心齐焦手动转塔4孔/调心电动转塔5孔

物镜(必选)

观察用

M Plan   Apo M Plan Apo HR M Plan Apo SL

G Plan   Apo

BD   Plan Apo

M Plan   Apo M Plan Apo
HR M Plan Apo SLG Plan   Apo

激光加工用

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NIR   系列

NUV   系列

* 从激光振荡器
使用的波长中选择

UV   系列

承重*2

约14   kg (-TH: 13.2 kg)

约13.9   kg (-TH: 13.1 kg)

主机质量

约6.6   kg (-TH: 7.4 kg)

约6.7   kg (-TH: 7.5 kg)