日本三丰 CNC表面形状测量仪 CS-5000CNC-宜器服务网

产品详情

CS-5000CNC CNC表面形状测量仪

CS-5000CNC是高精度测针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。

X1轴和Z2轴的最大驱动速度分别达40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。X1轴和Z1轴上装有三丰高分辨力的线性编码器，从而可以实现高分辨力的轮廓/形状测量、表面粗糙度的批量测量。

Z1轴检出器采用主动控制方式，减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。Z1轴检出器集成了防碰撞安全装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动停止工作。

CS-5000CNC带有α轴可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。

可选外部控制功能（外部I/O），与PLC实现双向通信（RS-232C）。

产品型号

型号	X1轴测量范围(mm)	X1轴分辨力(mm)	X1轴示值误差(20℃)
CS-5000CNC	200	0.005	±(0.3+0.002L)μm

技术参数

型号			CS-5000CNC	CS-H5000CNC
X1轴	测量范围		200mm
	分辨力		0.005µm
	长度基准		透射型线性编码器
	驱动速度	CNC模式	最大40mm/s
		控制手柄模式	0 - 40mm/s
	测量速度		0.02, 0.05, 0.1, 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0mm/s (形状/轮廓)
	测量方向		向前/向后
	直线度	使用标准测针	(0.1+0.0015L)µm L: 驱动长度 (mm)	(0.05+0.0003L)µm L: 驱动长度 (mm)
		使用二倍长测针	(0.2+0.0015L)µm L: 驱动长度 (mm)	(0.1+0.0015L)µm L: 驱动长度 (mm)
	示值误差 (20ºC)		±(0.3+0.002L)µm L: 驱动长度 (mm)	±(0.16+0.001L)µm L: 驱动长度 (mm)
α轴	倾角范围		-45º(CCW), +10º(CW)	—
Z1轴(检出器)	测量范围	使用标准测针	12mm
		使用二倍长测针	24mm
	分辨力	使用标准测针	0.0008µm
		使用二倍长测针	0.0016µm
	测针针尖上下移动		弧形移动
	长度基准		透射型线性编码器
	示值误差 (20ºC)		±(0.3+\|0.02H\|)µm H: 测量高度 (mm)	±(0.07+\|0.02H\|)µm H: 测量高度 (mm)
	测力	使用标准测针	4mN (固定)
		使用二倍长测针	0.75mN (固定)
	追踪角度		向上: 60º, 向下: 60º, (根据表面粗糙度)
	测针针尖形状	标准测针	尖端角度: 40º, 针尖半径: 5µm, 金刚石针尖
		标准球头测针	球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石
		2倍测针	尖端角度: 40º, 针尖半径: 5µm, 金刚石针尖
		2倍测针	—	尖端角度: 60º, 针尖半径: 2µm, 金刚石针尖
		2倍球头测针	球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石
	测量面方向		向下
Z2轴(立柱)	行程范围	Z2轴 (立柱, S型)	300mm
		Z2轴 (立柱, H型)	500mm
	分辨力		0.05µm
	长度基准		反射型线性编码器
	驱动速度	CNC模式	最大200mm/s
		控制手柄模式	0 - 50mm/s
基座装置	基座尺寸 (W×D)		750×600mm
	基座材料		辉长岩