LGH系列 高精度型光栅式测微仪
在10mm的宽范围内实现0.005μm或0.01μm的高分辨率和高精度,可与激光干涉仪相媲美。
紧凑的机身可以极大地促进设备本身的小型化,不仅是测量高精度零件和高精度定位和控制设备的长度测量传感器的理想选择,也适于用作测量设备的标准量规。
另有低测力规格产品:根据用途可以选择低测力规格产品,可以测量容易变形的工件及高性能胶片等。
LGH系列是带有专用计数器的套装规格。
技术参数
类型 | 分辨力0.01μm、示值误差0.2μm型 | ||
货号 | 542-715DC(标准型) | 542-716DC(低测力型) | |
型号 | LGH-1010-B-EH | LGH-1010C-B-EH | |
测量范围 | 10 mm | ||
分辨力 | 0.01 µm(0.05 µm、0.1 µm、0.5 µm、1 µm用计数器可切换) | ||
示值误差(20 °C)※1 | 0.2 µm | ||
重复性(20 °C)※1 | 0.1 µm(2σ) | ||
回程误差(20 °C)※1 | 0.1 µm | ||
测力 | 测杆朝下 | 0.65 N以下 | 约0.12 N |
测杆水平 | 0.55 N以下 | 不可使用 | |
测杆朝上 | 0.45 N以下 | 不可使用 | |
检出方式 | 光电式反射型直线栅尺 | ||
可检测动作速度 | 常规测量时:700 mm/sec 峰值检测时:120 mm/sec | ||
测微头质量 | 约370 g | ||
测头 | 硬质合金Sø3 mm(M2.5(P=0.45)×5 mm) 标准测头No.901312 | ||
装夹套筒直径 | ø15 mm |
计数器规格
显示范围 | ±999.99999 mm |
功能 | 置零、预设、方向切换、公差判断(3段/5段)、RS-LINK |
峰值保持功能 | ○ |
接口 | RS-232C、USB(SENSORPAK专用)、 |
外部输出 | ·RS-232C:计数数据、Digimatic输出:计数数据※3 ·I/O连接器:计数数据(简易BCD)、公差判断结果、简易模拟输出 |
外部控制 | 置零、预设、数据保持、峰值测量模式切换、峰值清除 |
电源 | 附带AC适配器,或DC+12~24 V, MAX700 mA |
功耗 | 8.4 W(MAX 700 mA) 对于市售电源,确保每个装置供电1A以上。 |
计数器质量 | 约900 g(不包含AC适配器等) |
标准附件 | 扳手(用于更换测头)、橡胶脚垫、支架、垫圈(用于计数器)、 |
LGH-0510系列
类型 | 分辨力0.005 µm、示值误差0.1 µm型 | |||
型号 | 542-720DC(标准型) | 542-721DC(低测力型) | ||
货号 | LGH-0510-B-EH | LGH-0510C-B-EH | ||
测量范围 | 10 mm | |||
分辨力 | 0.005 µm(0.01、0.05、0.1 µm用计数器可切换) | |||
示值误差(20 °C)※1 | 0.1 µm | |||
重复性(20 °C)※1 | 0.02 µm(2σ) | |||
回程误差(20 °C)※1 | 0.05 µm | |||
测力 | 测杆朝下 | 0.65 N以下 | 约0.1 N | |
测杆水平 | 0.55 N以下 | 不可使用 | ||
测杆朝上 | 0.45 N以下 | 不可使用 | ||
检出方式 | 超高精度透射型直线栅尺 | |||
可检测动作速度 | 250 mm/sec | |||
测微头质量 | 约370 g | |||
测头 | 硬质合金球形测头SR5(M2.5(P=0.45)×5 mm) 标准测头No.120058 | |||
装夹套筒直径 | ø15 mm |
计数器规格
显示范围 | ±99.999995 mm |
功能 | 置零、预设、方向切换、公差判断(3段/5段)、RS-LINK |
峰值保持功能 | × |
接口 | RS-232C、USB(SENSORPAK专用)、 |
外部输出 | ·RS-232C:计数数据、Digimatic输出:计数数据※3 ·I/O连接器:计数数据(简易BCD)、公差判断结果、简易模拟输出 |
外部控制 | 置零、预设、数据保持 |
电源 | 附带AC适配器,或DC+12~24 V, MAX700 mA |
功耗 | 8.4 W(MAX 700 mA) 每台市售电源应确保配置一个1 A以上的电源。 |
计数器质量 | 约900 g(不包含AC适配器等) |
标准附件 | 扳手(用于更换测头)、橡胶脚垫、支架、垫圈(用于计数器)、 |