日本三丰 高精度非接触测量装置 LSM-500S/501S

型号

LSM-501S

激光适用标准

JIS

IEC, FDA

测量范围

0.05～10mm

分辨力

0.01～10µm(可选)

重复精度^*1

±0.04µm

直线度

(20ºC)^*2

宽范围

±0.5µm

窄范围

±(0.3+0.1DD)µm^*3

定位误差^*4

±0.5µm

测量范围^*5

2×10mm(0.05～0.1mm) 4×10mm(0.1～10mm)

扫描速度

3200次/秒

激光波长

650nm(可见光)

激光扫描速度

113m/s

运行环境

温度

0～40ºC

湿度

35～85%RH(无冷凝)

防护等级

IP64^*6

型号

LSM-500S

激光适用标准

JIS

IEC, FDA

测量范围

0.005～2mm^*1

分辨力

0.01～10µm(可选)

重复精度*2

±0.03µm

直线度(20ºC)^*3

±0.3µm

定位误差^*4

±0.4µm

测量范围^*5

1×2mm(0.005～2mm)

扫描速度

3200次/秒

激光波长

650nm(可见光)

激光扫描速度

76m/s

运行环境

温度

0～40ºC

湿度

35～85%RH(无冷凝)

防护等级

IP64^*6