产品概述
E4991B 阻抗分析仪具有 1 MHz 至 3 GHz 的频率范围,可在宽广的阻抗范围内提供 0.65% 的基本准确度。它还可以选配材料测量选件以执行温度特征分析,并能够直接得到介电常数和导磁率读数。
产品特点
Keysight E4991B 阻抗分析仪是表征和评测电子元器件、半导体器件和材料的理想解决方案。
3 种可升级的频率选件:1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz
±0.65% 基本准确度和 120 mΩ 至 52 kΩ 阻抗范围(10% 测量准确度范围)
测量参数:|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc1、Idc1(1. 需要选件 001)
内置直流偏置(选件 001):0 V 至 ±40 V,0 A 至 ±100 mA
10.4 英寸彩色 LCD 触摸屏可显示 4 个通道和 4 条迹线
数据分析功能:等效电路分析、极限线测试
介电/磁性材料测量(选件 002):|εr|、εr'、εr''、tanδ(ε)、|μr|、μr'、μr''、tanδ(μ)
提供温度特征测量(选件 007)和可靠的晶圆上测量(选件 010)
材料测量选件提供温度特征分析功能(选件 007),并能够直接得到介电常数和导磁率的读数(选件 002)。
探头台连接套件(选件 010)可以在高达 3 GHz 的频率范围内提供准确的晶圆上或微型元器件阻抗测量解决方案。
E4991B 支持多款测试附件,让测量变得简单而可靠。
无论您是从事研发、质保还是质检工作,E4991B 都可以帮助您出色地表征和测试电子元器件、半导体器件和材料。
在材料测量方面,E4991B 与 N1500A-005 材料测量套件相结合,能够非常容易地完成从设置夹具到生成报告的整个测量过程(高达 1 GHz)。
技术指标
附加信息 | RF IV, suitable for accurate impedance evaluation Equivalent circuit analysis (7 models) Material meas. (opt. 002) Temperature characteristic test (opt. 007) On-wafer impedance meas. with probe station (opt. 010) 4 channels, 4 traces |
基本精度 | 0.65% |
直流偏置 | 0 V to ±40 V, 0 A to ±100 mA (option 001) |
频率 | 1 MHz to 500 MHz/1 GHz/3 GHz |
最大频率 | 1 MHz to 500M/1 G/3 GHz |
Measurement | RF-IV method |
Measurement Capability | Z, Y, theta, R, X, G, B, L, C, D, Q, Gumma, Gumma-x, Gumma-y, theta-Gumma, Vac, Iac, Vdc, Idc (Vdc and Idc require option 001) |
测量功能测量范围(精度< 10%) | 120mΩ to 52MΩ |
其它特性 | Equivalent Circuit analysis, limit line test, etc. Dielectric/magnetic material measurement (option 002), Temperature characteristics measurement (option 007), |
Special features | n/a |