产品介绍
可检测微量的半导体材料气体泄漏,可对半导体工厂等使用毒性气体的场所进行泄漏检测,
也可对氢气相关设备提供安全保障。
产品特点
小型·轻量
可以检查非常微量的气体泄漏
适合氢气相关设备的安全防护
搭载的泵有自动停止功能
搭载[自动气体排气模式]功能
保护等级约为IP22(JIS C 0920)※安装皮套时
产品用途
半导体工厂/石油化学工厂等
在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
技术参数
型号 | XP-703DⅢ | ||||
检测对象气体 | 半导体材料气体(砷烷、磷化氢、乙硼烷、硅烷、氢气) | ||||
检测原理 | 热线型半导体式 | ||||
采样方式 | 自动吸引式 | ||||
可检测泄漏量[Pa.m3/s] | 砷烷 | 磷化氢 | 乙硼烷 | 硅烷 | 氢气 |
AsH3 | PH3 | B2H6 | SiH4 | H2 | |
可检测浓度[ppm] | 2.53×10-7 | 1.52×10-7 | 1.01×10-7 | 2.53×10-7 | 5.07×10-7 |
0.5 | 0.3 | 0.2 | 0.5 | 1.0 | |
反应时间 | 10秒以内(探测的气体为可检测浓度的3倍时,灵敏度设定为[4]) | ||||
报警方式 | 发出断断续续的声音及报警灯闪烁 | ||||
电源 | 5号碱性干电池(LR6)2节 | ||||
连续使用时间※1 | 约12小时(5号碱性干电池)[在常温·常湿条件下] | ||||
保护等级※2 | IP22相当※3 | ||||
使用压力范围 | 大气压(800~1100hpa) | ||||
使用温湿度范围 | 0℃~40℃、85%RH以下(无结露现象) | ||||
外形尺寸 | W38×H130×D32mm(突出部份除外) | ||||
重量 | 约190g(包含电池、皮套) | ||||
标配附件 | 皮套、引导管过滤片、替换用过滤芯、导气管、点检气体、手提挂绳、5号碱性干电池2节等 |
※1.根据不同环境条件、使用条件、保存期限、电池厂家,有时会有不同。
※2.安装皮套时。
※3.IP22相当是指机器内部危险场所附近所对应的保护构造(IP2X)、与垂直方向呈15°范围内掉落的水滴不会引起
机器内部异常的防浸水构造(IPX2)。