6430 亚FA程控源表
6430亚fA程控源表集合了吉时利源表 和源测量单元(SMU)产品的电压源和电流 源及测量功能,比静电计灵敏度更高,噪 声更低,输入阻抗更高。这种独特的性能 是通过6430远端前置放大器实现的,它提 供非常灵敏的双向放大器,用于测量或产 生被测试器件的电流。远端前置放大器输 出的高电平信号通过一条2米长的线缆发 送到控制主机上。这使得用户可以直接, 或者近距离连接该信号,减少线缆噪声 的影响。
产品主要特点:
0.4fA p-p (4E-16A)噪声
远端前置放大器可以位于信号源处以减少线缆噪声
电压测量的输入阻抗>1016Ω
高速——达2000读数/秒
分辨率达6位半
快速元件特性分析,带可编程数字I/O和接口
6430按照静电计无法达到的速度测量 电压、电流与电阻。它可以每秒读取最多 2000源/测量读数,读入内部存储器中。 可以测量快速小电流,100nA量程可响应 短至5ms的信号,较大量程可响应几百微 秒的信号。
6430的独特特点包括其优秀的低电 流灵敏度和远端前置放大器,这通过避 免长输入线缆发挥了灵敏度的作用。远 端前置放大器是6430反馈测量系统的主 要部分,虽然通过长达2米,带载高电平 信号的连接线缆它能离开主机一段距离 但是它不能独立于测量主机工作。
应用
6430的功能使其同样适于在测试实 验室的研究工作和复杂元件的评估,结 合其它源测量仪器或SMU用于在较高电平 上进行低电流、高电阻或高灵敏度的半 导体测量。6430的低噪声和漂移性能也非 常适合高阻性纳米线和其它高阻纳米材 料的研究。
高速数据处理
6430能以超过2000个读数/秒的速度 读至其内存缓冲器。IEEE-488总线输出能 每秒发送达75个源/测量读数至外部计算 机控制器,包括通过/失效指示。
6430能提供达2.2W的4象限源, 以及低至亚fA和微伏电平的测量 灵敏度。在高达20V,它能测量从 1pA量程(仅0.4fA峰峰值噪声)至 100mA量程的电流。可提供200mV至 200V的电压范围。电流和电压量程 设置定义了源或阱电压或电流的 最大值。
典型应用:
半导体测量
基于FET元件中的栅 极漏电或沟道漏电会在 MOSFET、FET、模拟开关和许 多其它电路中产生误差。通 过允许研究人员测量极低电 平的电流和电压,6430能帮 助他们了解这些元件的设计 局限以及研究替代器件的结 构或材料。
测量FET的栅极漏电和沟道电
SET研究
6430具有的优秀低电流测量能力(<0.4fA峰峰值)使其对于单电子晶体管 (SET)和量子点研究非常有用。使用类似于锁定的技术,6430能以1aA灵敏度测量 电流(10–18A=6电子/秒)。
低噪声和漂移
下图的数据表明6430在5小时期间内稳定性非常突出,而且短期的低噪声性能 优秀。使用6430的AUTOFILTER以5秒上升时间在1pA量程上实现微弱信号采集。插 图中的细节是滤波信号的截图,显示了6430型在最开始的100秒期间的低噪声性能 (仅200aA峰峰值)。在温度变化约1°C的实验室环境下提取数据,其中6430的IN/ OUT HI和SENSE引线接防护罩。
亚FA程控源表 6430 技术参数
型号 | 电流 | 电压 | 电阻 | 充电 | 源 |
6430 | 10aA - 100mA | 1µV - 200V | 1µΩ - >20TΩ | - | 0 - ±200V |