舜宇 晶圆检查系统 AWL系列

晶圆尺寸

100mm   / 150mm

150mm   / 200mm

200mm   / 300mm

晶圆最小厚度

150um

150um   / 180um

180um   / 250um

晶舟类型

Open   Cassette

Open   Cassette / FOUP、FOSB

检查模式设置

全检   / 奇数检 / 偶数检 / 手动选择

晶舟扫描（有 / 无 / 斜片）

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晶舟内凸片侦测报警

≥4mm

≥5mm

晶圆预定位（平边、Notch）

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朝向设置（平边、Notch）

非接触式定位平边、Notch，支持0°、90°、180°、270°朝向设置

检查功能

晶面宏检（旋转）、晶背宏检1（外圈、旋转）、晶背宏检2（中心）

晶面宏检（旋转）、晶背宏检1（外圈）、晶背宏检2（中心）

外观尺寸（W*D*H）

1450*700*1600mm

1550*700*1600mm

2400*1400*2450mm

电源需求

1P   / 220V / 10A

1P   / 220V / 16A

真空需求（负压 / 正压）

-70KPA   ～ -80KPA

-70KPA   ～ -80KPA / 0.5MPA

适用显微镜

SOPTOP   MX68R金相显微镜

光学系统

无限远色差校正光学系统，放大倍率50X-1000X

观察方式

明场、暗场、偏光、DIC

目镜

高眼点大视野平场目镜PL10X22mm，可带视度可调，可带测微尺

高眼点大视野平场目镜PL10X25mm，可带视度可调，可带测微尺

观察头

铰链三目观察筒，5-35度倾角可调，正像，瞳距调节范围：50-76mm，两档式分光比，双目：三目=100：0，0：100

铰链三目观察筒，0-35度倾角可调，正像，瞳距调节范围：50-76mm，两档式分光比，双目：三目=100：0，0：100

物镜

长工作距平场明暗场半复消色差金相物镜 5X / 10X / 20X / 50X / 100X

转换器

明暗场6孔电动转换器（带DIC插槽）

机架

反射式机架，前置低手位粗微同轴调焦机构，粗调行程35mm，微调精度0.001mm，带有防止下滑的松紧调节装置和随机上限位装置，内置100-240V宽电压系统

明暗场反射照明器，带视场光阑，可变电动孔径光阑，带明暗场切换装置，带滤色片插槽与偏光装置插槽，带12V10W LED光源控制部件

明暗场反射照明器，带视场光阑，可变电动孔径光阑，带明暗场切换装置，带滤色片及偏光装置插槽，带12V10W LED灯箱

载物台

6英寸机械移动平台，低手位X、Y方向同轴调节，晶圆承片台台面φ38mm，可360°旋转，移动行程228mm(X方向)×170mm（Y方向），观察范围：170mmX170mm，带离合器手柄

8英寸机械移动平台，低手位X、Y方向同轴调节，晶圆承片台台面φ60mm，可360°旋转，移动行程280mm（X方向）×210mm（Y方向），观察范围：210mm×210mm，带离合器手柄

12英寸自动平台，X、Y、Z、φ多方向调节，晶圆承片台台面φ70mm，可360°旋转，移动行程600mm（X方向）×500mm（Y方向），观察范围：310mm×310mm，φ方向可±5度旋转，各轴运动速度可以高低速切换

其他

滤色片插板、起/检偏镜插板、DIC组件、摄像接口、调整平台、相机、专业晶圆检查软件等