产品概述
Soptop MS系列测量显微镜结合了金相显微镜的高倍观察能力,和影像测量仪的 X、Y、Z 轴表面尺寸测量功能,具备明暗场、微分干涉、偏光等多种观察功能。可广泛应用于半导体、PCB、LCD、手机产业链、光通讯、基础电子、模具五金、医疗器械、汽车行业、计量行业等领域的精密检测。
MS系列测量显微镜(工具显微镜)采用优异的无限远光学系统,搭配长工作距金相物镜,配合六孔电动转换器 ,在满足大视野观测、大工作距测量需求的同时,还提供了高倍率和高精度的保障。无论是测量大型部件还是精细元件,或是表面高度差异大的样品,MS系列都能为用户提供最佳的解决方案。
产品特点
功能高度集成的一体式设计
MS 既预留了台式主机的位置,又在使用者面前放置了可收起的键盘。两个方向上的手轮以及各类按钮,均符合人体工程学,使用者无需站立,便可轻松实行操作。
仰角可调观察筒
这款观察筒倾斜角在 5°至 35°之间可调。无论是站立或坐着,都能最大限度满足用户的操作需求,同时也无需担忧用户的身高差异。
大行程载物台
有多种行程的载物台可供选择 , 分别为 200mm×100mm、300mm×200mm、300 mm×300mm、400 mm×300mm。无论样品大小,均能满足用户的测量需求。若用户有特殊需求,也可按需求定制平台。
精密测量功能
SOPTOP MS 测量显微镜采用0.1um读数的3轴测量系统,Z 轴最大行程可至150mm,利用集成在机架上的高精度电动控制器控制 Z 轴。三档不同调速可供选择,调焦可操作性强,提高效率,降低疲劳。
独立裂像光源辅助对焦
独立的裂像光源控制器,可根据样品不同背景进行光源亮度调节,清晰准确显示最佳焦面。有两种裂像图案可供选择,并随意切换。
自主研发测量软件
MS 系列测量显微镜(工具显微镜)配备了操作简单,功能强大的测量软件,客户可根据需要设置测试偏好。配合电动转换器,倍率自动识别,减少客户手动倍率选择错误。即使对复杂的形状,也可以进行高精度的测量。
技术规格
型号 | MS210A | MS320A | MS330A | MS430A |
光学系统 | 无限远光学系统 | |||
观察头 | 5°~35°倾角可调,正像,无限远铰链三目观察筒,瞳距调节范围:50mm~76mm;两档式分光比:100:0,0:100 | |||
目镜 | 高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm,可视度可调,可带测微尺; | |||
转换器 | 六孔电动转换器(微分干涉),明暗场六孔电动转换器(带DIC插槽) | |||
物镜 | 无限远长工作距平场消色差金相物镜5X、10X、20X、50X、100X | |||
无限远长工作距平场明暗场消色差金相物镜5X、10X、20X | ||||
无限远长工作距明暗场半复消金相物镜50X、100X | ||||
放大倍率 | 光学放大倍率:50X-1000X;系统放大倍率:135X-2700X | |||
测量显微镜主体 | 手动测量平台,行程200 (X)mm×100(Y) mm,X/Y测量精度:(2+L/100)um,平台包含快速移动装置及微调装置,最大承载重量:10KG;带Z轴电动调焦、三轴数显器、电动控制器,Z轴行程150mm,最大行程170mm,Z轴重复定位精度±2 um; | 手动测量平台,行程300 (X)mm×200(Y) mm,X/Y测量精度:(3+L/100)um,平台包含快速移动装置及微调装置,最大承载重量:15KG;带Z轴电动调焦、三轴数显器、电动控制器,Z轴行程150mm,最大行程160mm,Z轴重复定位精度±2 um; | 手动测量平台,行程300 (X)mm×300(Y) mm,X/Y测量精度:(3+L/100)um,平台包含快速移动装置及微调装置,最大承载重量:20KG;带Z轴电动调焦、三轴数显器、电动控制器,Z轴行程150mm,Z轴重复定位精度±2 um; | 手动测量平台,行程400 (X)mm×300(Y) mm,X/Y测量精度:(3+L/100)um,平台包含快速移动装置及微调装置,最大承载重量:20KG;带Z轴电动调焦、三轴数显器、电动控制器,Z轴行程150mm,Z轴重复定位精度±2 um; |
照明系统 | 明暗场反射照明器,带明、暗场照明器切换装置,带滤色片插槽与偏光装置插槽,5WLED灯源,5WLED透射光源,亮度均可调 | |||
辅助对焦模块,带明、暗光楔切换装置,带绿光5W LED灯源(含100V-240V宽电压,5WLED控制器,可调光) | ||||
调焦方式 | 电动手轮控制调节,增加按键式快速升降 | |||
相机 | 德国进口的映美精相机:像素300万,靶面尺寸:1/1.8,1600(H)×1200(V),最大帧率:20 fps | |||
摄影摄像接口 | 0.5X/0.65X CTV,采用C型接口,可调焦 | |||
PC | 联想(ThinkCentre)台式机与显示器 | |||
软件 | 精密测量软件MSU3D-PRO | |||
其他附件 | 起偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板;反射用干涉滤色片组;高精度测微尺;DIC组件;标定片 |