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ZHN-SEM

ZwickRoell 纳米压痕试验机 ZHN/SEM

品牌名称：ZwickRoell

产品型号：ZHN/SEM

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产品规格
产品介绍
安装于扫描电子显微镜（SEM）的ZHN/SEM纳米压痕试验机能通过最高分辨率观察试样进行微观机械测试的情况。它拥有现有的最大的测量范围，最高行程测量精度200 µm，最大试验力200 mN，极低的噪音以及低振动环境下的低噪音试验力。仪器的刚度十分高，能毫无困难地进行传统硬度测量。
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产品资料-ZwickRoell ZHN/SEM 适用于扫描电子显微镜的纳米压痕试验机
4页
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产品详情

产品概述

安装于扫描电子显微镜（SEM）的ZHN/SEM纳米压痕试验机能通过最高分辨率观察试样进行微观机械测试的情况。它拥有现有的最大的测量范围，最高行程测量精度200 µm，最大试验力200 mN，极低的噪音以及低振动环境下的低噪音试验力。仪器的刚度十分高，能毫无困难地进行传统硬度测量。

标准系统研发安装于多种SEM的工作台系统，也能安装于内室壁上。SEM工作台现有的倾斜和定位选项能用于这个系统。

系统包含：

配备传感器和作动缸的测量头

用于在XY方向定位试样及可围绕压头轴线旋转的压电试样台

一个刚性的机械式Z-工作台应用于测量试样的头部。

PC和控制器

简便的操作、高度灵活的软件

含导向孔的一个或两个法兰（特用于SEM）

 

优势及特点

压痕试验机压头能根据客户的要求在大范围进行定制。

试验力和行程的控制可设置成闭环或开环。

可进行最高100Hz频率的疲劳动态测试，也可选择持续进行刚度测量。

测量压头的一个突出的特点是在全测试范围内既能进行压缩测试又能进行拉伸测试。

视频同步：记录的图像能通过TCP/IP传输至SEM的电脑上。

 

技术概览

描述

数值


订货号

1020054

型号

ZHN/SEM

最大测试载荷（Fmax）

大约200

mN1

最大行程

20   mN时约为200 µm； 200 mN时约为1500 µm

力值分辨率，数字

≤0.02

μN

行程分辨率，数字

≤0.001

nm

噪音等级，力值测量（均方根值）

≤0.5

μN

噪音等级，力值测量（均方根值）

≤0.5

nm

载物台系统

XY载物台：行程范围（标准）

21   x12

mm

XY载物台：定位精度

≤50

nm

XY载物台：测量系统分辨率

1

nm

Z轴：行程范围

15   (可选25)

mm

Z轴：定位精度

≤0.1

μm

Z轴：测量分辨率

50

nm

1、压缩和拉伸

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