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Spector

苏州天准 掩模测量 Spector

品牌名称:天准科技

产品型号:Spector

产品规格
产品介绍
Mask CD测量
最大支持14寸掩模以及定制形状
可配置可见光、紫外光,支持穿透和反射光
SECS/GEM
长期维护成本低,稳定可靠
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产品详情

Spector 掩模测量 

天准为掩模生产过程中的测呈提供高精度、高重复性系统,适用产品包括但不限于C0G和PSM.

针对掩模来料测量,天准提供长距离工作物镜。测量包括掩模版上CD的分布,同时系统提供可见光和紫外光照明,均可用于反射和透射模式。紫外光照明可用于测量最小300nm的特征尺寸,3sigm重复性通常在纳米范围内。

产品性能特点

Mask CD测量

最大支持14寸掩模以及定制形状

可配置可见光、紫外光,支持穿透和反射光

SECS/GEM

长期维护成本低,稳定可靠

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