EVO 扫描电子显微镜
EVO系列将高性能的扫描电镜和直观的、友好的用户界面体验结合在一起, 同时能够吸引经验丰富的用户以及新用户。无论是在生命科学, 材料科学, 或例行的工业质量保证和失效分析领域,凭借广泛的可选配置, EVO 都可以根据您的要求量身定制。
不同的真空室大小和可满足所有应用要求的载物台选项-甚至是大型工业零部件样品 使用LaB6灯丝,能够得到优异的图像质量 对不导电和无导电涂层的样品的成像和分析性能出色 可以配置多种分析探测器用于满足各种显微分析应用的需求 |
产品优势
适合更多用户操作
对于经验丰富的以及新手用户操作都很方便
在实际的实验室环境中,SEM 的操作通常是显微镜专家的专属领域。但是对于非专家级用户来说,操作SEM就变得具有挑战,比如学生、受训者或质量工程师,他们往往也需要从 SEM获取数据。 EVO 则同时考虑了这两类用户的需求,用户界面选项既能满足有经验的显微镜专家也能满足非专业用户的操作需要。
智能导航与成像
大大提高样品的测试效率,以及更多的数据产出
相机可以安装在仓室前方, 以监测样品与背散射探测器以及物镜底端之间的相对位置(仓室相机);或安装在真空室仓门上方 (导航相机), 利用俯视图查看样品台上样品的摆放位置。此视图可用于设置从光学显微镜图像中识别出的预定义位置, 并在整个样品测试过程中轻松导航。 | |
自动化智能成像 EVO实现了对样品批量自动、无人值守的图像采集。蔡司自动化智能成像非常适合例行检测。它使用户能够自定义边界区域,自动生成所需的视图或放大倍数确定的感兴趣区域,并开始自动获取图像。自动化智能成像将大大提高样品的测试效率,以及更多的数据产出。 |
将您的研究提升一个层次
使用六硼化镧电子发射器能够获得更好的图像
六硼化镧阴极相较于传统的钨发夹灯丝所发射的电子能够保证您额外所需要的图像质量。这种优势体现在以下两个方面:
在相等电子探针尺寸 (即分辨率) 下, 有更多探针电流可供使用, 从而使图像导航和优化更容易
在相等的探针电流 (信噪比) 下, 光斑直径要小得多, 从而提高了图像分辨率
EVO 能够与其它设备相关联
工作流程自动化和关联显微镜的好处
通过使用Shuttle & Find(蔡司关联显微镜的软硬件部分),您可以在(数码)光学显微镜和 EVO 之间建立一个高效的多模式联用的工作流程。将光学显微镜独特的光学对比方法与同样独特的扫描电镜成像和分析方法相结合, 获得互补的数据, 从而更清楚地去了解样品的材料、质量或失效机理。 |
蔡司 SmartEDX
用于常规SEM显微分析应用的一体化EDS解决方案
如果单采用SEM成像技术无法全面了解部件或样品,研究人员就会借助能谱仪(EDS)来采集元素化学成份的空间分布信息。
EVO 系列
真空室尺寸选择
| 选择 EVO 10(可选配BSD和EDS)是您想以一个非常实惠的价格购买扫描电子显微镜的切入点。您现在在 EVO 的投资保证了您已经为将来需要更多空间和端口的应用做好了准备。 | EVO 15 充分展示了 EVO 家族的灵活性概念, 并擅长于分析应用。选择 EVO 15 更大的真空室,并增加对不导电样品或零件的成像和分析的可变压力模式,你将有一个多功能多用途的显微镜设备或者工业质量保证实验室的解决方案。 | EVO25 是工业的主力解决方案, 它有足够的空间以容纳甚至更大的部件和组件。可选的 80 mm Z 轴行程载物台可进一步扩展 EVO 25的功能, 它可以处理重量高达2公斤的样品甚至倾斜。此外, 大的真空室将能够容纳多个分析检测器以满足苛刻的微量分析应用需求。 |
最大样品高度 | 100 mm | 145 mm | 210 mm |
最大样品直径 | 230 mm | 250 mm | 300 mm |
电动载物台行程XYZ |
80 x 100 x 35 mm | 125 x 125 x 50 mm | 130 x 130 x 50 (或 80) mm |
蔡司 EVO 应用案例
应用实例
生产与装配企业
质量分析/质量控制
失效分析/金相分析
清洁度检查
颗粒的形态和化学分析, 以满足 ISO 16232 和 VDA 19 中1和2的标准
非金属夹杂物的分析
电子半导体
目视检查电子元件、集成电路、MEMS 器件和太阳能电池
铜丝表面及晶体结构的研究
金属腐蚀研究
断面失效分析
Wire bonding线脚检查
电容表面成像
钢铁和其它金属
对金属样品和夹杂物的结构、化学和结晶学进行成像和分析
相、颗粒、焊缝和失效分析
原材料
地质样品的形态、矿物学和成分分析
对金属、断裂和非金属夹杂物的结构进行成像和分析
微粉化和造粒过程中原料化学成分和活性成份的形态和成分分析
材料科学研究
用于研究导电和不导电材料样品的特征
生命科学
对植物、动物和微生物的研究
司法鉴定
枪击残留物(GSR)
油漆和玻璃分析
钞票和硬币伪造
头发和纤维比较
法医毒理学