GeminiSEM系列 场发射扫描电子显微镜
高分辨,不挑样
长久以来,蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM一直是高分辨力与宽样品适用性的代名词。无论您从事的研究方向是什么,GeminiSEM都可以满足您的需求。创新的电子光学系统和新型样品腔室设计可让您拥有更佳的图像质量、易用性和灵活性。蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM兼具出色的成像和分析能力,不依靠浸没式物镜依然可以轻松实现1 kV以下的亚纳米级分辨力。以下内容可以使您进一步了解Gemini电子光学系统的三大独特设计,探索蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM的应用潜能。
更灵活的成像工具 – 配备Gemini 1镜筒的蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM 360可以实现各种样品的高分辨成像、分析和各种应用需求的拓展。 更强大的分析能力 - 配备Gemini 2镜筒的蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM 460可应对更加复杂的分析工作。连续可调的大束流使您可以在成像和分析条件之间无缝切换。 更高端的表征体验 - 蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM 560配有Gemini 3镜筒及其新型电子光学引擎,让它在各种工作条件下均可发挥该系列最出色的分辨率特性。 |
产品优势
了解三种型号的所有详情,选择符合您应用需求的一款。
它是中心实验室的得力助手,在科研和工业领域中具有高通用性。 | |
场发射扫描电镜GeminiSEM 360是中心实验室的理想选择,在科研和工业中具有非常高的通用性。 产品搭载Gemini 1镜筒,在低电压下依然具有高分辨成像能力,让您轻松获取样品极表面高分辨信息。 通过镜筒内二次电子和背散射电子同时成像,即使对于电子束敏感样品也可以获取高分辨的表面形貌和成分衬度。 在低真空下(NanoVP)拍摄不导电样品时,依然可以通过镜筒内Inlens探头获得优异衬度:无荷电高分辨。 | |
出色的用户体验 场发射扫描电镜GeminiSEM 360可提供出色的用户体验:该产品具有广阔的视野范围和大体积腔室,可以轻松检测大尺寸样品。 利用蔡司ZEN Connect软件可在多种显微镜(例如光镜、电镜、X射线显微镜)之间进行无缝导航。 使用蔡司自动对焦和智能探测器等自动功能轻松采集清晰、锐利的图像。 具有对称的EDS端口和共面的EDS / EBSD几何设计,可高效执行成像和分析工作流程。 可有效延长系统正常运行时间,并让您从容地进行计划内维护。 | |
可升级的系统可有效减少重复投资。因此,我们将场发射扫描电镜GeminiSEM 360融入蔡司ZEN core软件生态系统中。 ZEN软件生态系统包括:ZEN Connect可关联多仪器、多尺度数据;ZEN Intellesis是基于AI的自动分析工具; ZEN数据存储功能可以让您在一个数据中心节点上管理不同仪器的实验数据。 可访问作为APEER社区成员的其他用户创建的工作流和脚本,帮助您解决难题。 明确的升级路径帮助您的设备更好地升级最新的功能。 | |
具有更强大的分析能力,可进行高效分析和自动化的工作流程。 | |
场发射扫描电镜GeminiSEM 460专为有挑战性的分析任务而设计,可进行高效分析和自动的工作流程。 Gemini 2镜筒可快速执行高分辨成像和大束流分析:从小束流-低电压无缝切换到大束流-高电压。 并行使用多个探测器,提供样品的全方位数据。 多接口腔室设计可兼容更多探测器,以进行高效分析。 使用新的VP模式在大束流下采集EBSD谱图可达4000点/秒的标定率。 对于化学成分和晶体取向的分析,具有两个对称的EDS端口和共面的EDS/EBSD几何学设计,可实现更快速度且无阴影的面分析结果。 | |
强大的分析功能与自动化流程相结合,让您的分析工作更进一步。并且蔡司还可以通过Python脚本来定制您自己的自动化实验。 修改实验过程并根据您的要求定制结果输出。 STEM三维成像功能:将自动倾斜和旋转与蔡司特征点跟踪相结合。将所有自动对齐的图像发送到专有的3D重构软件后,生成具有纳米级分辨率的3D形貌。 当您需要测试材料的加工特性时,蔡司将为您提供自动化的原位加热和拉伸实验平台:它可以让您自动观察在加热和拉伸条件下的材料,同时动态绘制应力-应变曲线。 | |
能够使系统与各种配件相兼容。多功能型腔室不仅可以配置分析附件,还可以配置原位台、冷冻传输系统和纳米探针。 因此,您可以随时对仪器进行配置更改和升级。 所有GeminiSEM均已融入蔡司ZEN core生态系统,您可以利用ZEN Connect、ZEN Intellesis和ZEN分析模块,以获取报告和GxP工作流程。 | |
更高端的表征体验,让您轻松对困难样品进行1 kV以下的高分辨、无畸变成像。 | |
场发射扫描电镜GeminiSEM 560全面提升你的电镜体验,即使在1kV以下也可以很轻松地对电子束敏感的样品进行无畸变高分辨的成像。 Gemini 3镜筒搭载Nano-twin物镜和新型电子光学引擎Smart Autopilot,可在1 kV以下对样品进行1 nm以下分辨率的无漏磁成像-无需样品台偏压或单色器。 通过新的可变气压模式和检测系统对不导电及气压敏感的样品进行成像:将真空敏感样本通过低真空样品交换室进入电镜腔室,可以维持样品最本征的结构后快速成像。 利用带双EDS接口的新型大型腔室,轻松分析复杂样品。通过优化的探测器几何设计确保快速、无阴影的图像。 | |
新的电子光学引擎Smart Autopilot可全面提升对高难度样品的成像体验。 新系统的大视野功能可让您轻松进行样品导航。 Smart Autopilot可让您节省时间,同时避免进行复杂的的光路对中:该引擎可自动调整光路,让图像从一倍放大至五十万倍时始终保持光路对中聚焦良好的状态。 Smart Autopilot包含蔡司自动对焦和自动光路对中功能,可在几秒内为您提供清晰、锐利的图像。 Python脚本能够在自动化工作流程(例如3D STEM断层成像)中集成软件功能。 | |
样品拍摄中的最佳成像条件,意味着您结合了最佳的参数组合来获得完美的图像:所以拍图诀窍就是找到它。 Gemini镜筒技术及其无漏磁成像技术和全新的Gemini 3镜筒可使您找到这些最佳成像条件,并从样品中发现新的信息。 场发射扫描电镜GeminiSEM 560可以轻松拍摄磁畴衬度,它在样品上的磁场小于2 mT。 使用带能量过滤器的Inlens背散射探测器进行能量分辨背散射电子成像,同时通过环形背散射探测器进行角分辨背散射电子成像。 通过ZEN Connect对所有数据进行整合,轻松生成报告。 |
应用
蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM
纳米科学与纳米材料
典型任务和应用
显示纳米电子和光子器件的微结构、完整性和失效
对电子束敏感样本(例如低维材料)进行成像,同时避免大的电子束损伤、荷电效应或图像畸变
以高分辨率研究纳米磁性和纳米力学,表征材料的表面形貌并分析其元素组成
创建并评估纳米流控实验器件的质量
能源材料
典型任务和应用
微观结构和器件评估
缺陷分析
相分布
孔和裂纹的标定
工程材料
典型任务和应用
任何材料种类都能进行高分辨成像,具有出色的衬度和清晰度
金相和断裂分析
不同条件下材料行为的原位表征
生成实验数据进行验证并提高仿真模型的准确度
仿生材料、聚合物和催化剂
典型任务和应用
表面表征和评估
结构分析、区分和量化
多尺度表征,用于某些生物材料具有的典型亚结构表征
失效分析与过程控制
工业领域的应用
典型任务和应用
机械、光学或电子器件的失效分析
断裂分析与金相
表面、微结构和器件表征
成分分布和相分布
杂质和夹杂物测定
半导体器件设计与失效分析
典型任务和应用
架构分析与逆向工程
电压衬度
亚表面分析
电学性能测量探针
定位TEM位置
生命科学
典型任务和应用
拓扑结构表征
电子束敏感、不导电、真空敏感或低衬度的样品
以高分辨显示细胞、组织等超微结构
对大样品进行连续切片或拼图成像
配件
基于蔡司场发射扫描电镜的原位实验平台
通过集成的一体化解决方案建立材料性能与微结构之间的关联
蔡司最新开发了自动化的原位加热与拉伸实验平台,能够向您揭示材料微结构的变化是如何影响材料宏观性能的。基于此平台,能够自动观察材料在加热和拉伸过程中的变化,并随时绘制材料的拉力-应力曲线。通过集成该原位加热与拉伸实验解决方案,将极大的扩展您的蔡司场发射扫描电镜的功能,从而助力金属,合金,高分子材料,塑料,复合材料以及陶瓷等材料的深入研究。
该原位实验平台将力学拉伸/压缩样品台,加热单元,以及专为高温环境设计的二次电子和背散射电子探测器,与EDS和EBSD分析相结合。得益于蔡司独特的Gemini电子光学镜筒设计,使上述原位硬件的集成变得非常简单。所有系统部件均通过安装于单台电脑上的统一的软件界面控制,从而实现了自动化的,无人值守的材料测试过程。系统允许定义多个感兴趣区域(ROI),并通过自动特征点追踪功能,为您重新定义了自动化连续成像和分析(例如EDS和EBSD)的标准。
优势:
简单而快速的实验设置,在数据采集过程中无需人工监视
自动化的原位实验流程,保证了数据采集具有高重复性,高精度,以及不依赖于操作人员的高可靠性
同时保证高通量和高分辨数据采集,可快速获得在统计意义上具有代表性的结果
高质量的数据保证了可靠的后期数据处理,例如由可使用GOM开发的数字图像关联(DIC)技术软件处理产生的应力分布图
简便的数据管理
3D STEM断层成像
现在,您可以在场发射扫描电镜上实现自动的STEM三维成像。该功能集成在一个可定制的自动化的工作流程中,包括实现全自动的载物台的优中心旋转和倾斜运动以及自动对焦和图像采集。特征点跟踪功能可补偿整个倾斜过程中的偏移,并将两幅图像之间的偏移保持在最小约50 nm。新的STEM样品台可以实现180°旋转和60°倾斜,任何角度下,aSTEM探测器都可以轻松成像。最后通过3D重构软件渲染生成样品的3D模型。