58212-C 光电元件点测机
Chroma 58212-C是一台具备精准控温、多点测试、自动化的外延片 (Epitaxial Wafer) / 芯片(Chip) 探测针光电应用测试设备，提供快速且准确的光电性能量测，广泛的应用于雷射二极管 (Laser Diode) 和发光二极管 (Light-Emitting Diode) 等产品。
58212-C的点测系统采用了灵活的设计，提供不同类型的光电组件测试，包括水平结构(Lateral)、垂直结构(Vertical)和倒装芯片 (Flip Chip)；测试前的扫描程序可提供完整的晶圆扫描图以保证测试的精度；专利探针头可防止待测物刮伤并确保每一个芯片接触。
此机型提供多点测试 (multi-site) 设计，透过客制化的架构可支持一次下针测试多点位置，此设计可稳定测试并节省测试时间，增加测试效能。
透过致茂的独特光学设计可取得精确且稳定快速的光学数据，如: 光功率、中心波长、峰值波长、半峰全宽及色温等，量测光学的同时也可获取电性数据，如: 顺向电流、顺向电压、漏电流、逆向崩溃电压、斜率效率、光电转换效率等，以上光电测试皆在一次下针的时间内完成。
软件操作接口及先进的逻辑算法，可使得生产效益大幅提升；完善的测试报表与良率统计供使用者轻松掌握生产状况。
产品性能特点
■ 高速及高精度测试
■ 支持水平结构、垂直结构和倒装型芯片
■ 支援到8英吋晶圆
■ 支持不同电性测试范围 (LD或LED)
■ 精准快速对位的扫描程序
■ 支持多点测试功能 (multi-site)
■ 支援auto load/unload
测试项目
■ 电性量测:
阈值电流Threshold Current (Ith)
顺向电压Forward Voltage (Vf)
漏电流Reverse leakage Current (Ir)
逆向崩溃电压Reverse Breakdown Voltage (Vrb)
■ 光特性量测:
光功率 Optical Power
中心波长 Centre Wavelength (Wc)
峰值波长 Peak Wavelength (Wp)
半峰全宽 Full Width at Half Maximum (FWHM)
硬设备
■ 自动化晶圆芯片点测设备
■ 电性测试模块
■ 光学测试模块
■ 选配ESD测试模块(LED适用)
技术参数
Model | 58212-C |
Application |
Test Area | ψ8 inch wafer |
Wafer Size | Chip on wafer: 2", 4", 6", 8" Chip on tape : 2", 4", 6" |
Chuck Type (A chuck is decided by a device type) | Lateral type, Vertical type, and Flip chip type (select one of them) |
Die Size | 6 ~ 120mil |
Pad Size | ≧ 50µm |
Operating Temperature | 25℃ ~85℃ / 0℃ ~100℃ |
Electrical Measurements |
Measurement Items | Threshold Current (Ith), Forward Voltage (Vf), Reverse leakage Current (Ir), Reverse Breakdown Voltage (Vrb) |
Current Range | ±6A (≦5V & Pulse Mode Only), ±3.5A (≦5V), ±2.5A(≦10V), ±1A, ±100mA, ±10mA, ±1mA, ±100µA, ±10µA,±1µA |
Driving Mode | CW and Pulsing |
Pulse Width | Min.100µs (depending on the DUT, pulse width may need to be longer to have stable voltage and power readings) |
Duty Cycle | < 10% (when I=2.5A~3.5A, pulse width ≦5ms, voltage<5V) (Heat dissipation affects the pulse duty cycle constraint) |
Optical Measurements |
Measurement Items | Optical Power, Centre Wavelength (Wc), Peak Wavelength (Wp), Full Width at Half Maximum (FWHM) |
Optical Power | Range | 0.5mW~500mW |
Repeatability | ≦3% |
Wavelength | Range | UVC to NIR (Further discussion is possible on other ranges) |
Repeatability (FWHM) | ≦±0.3nm |
Facility Requirements |
Machine Dimension | 1160mm (L) x 1240mm (W) x 1500mm (H) |
Power Requirement | Single phase, 220VAC ±10%, 50/60Hz, 20A |
Input Air | -0.2 Mpa / ψ6 mm |
Weight | 750 kg |
Environment | Temperature | 20℃ ~ 30℃ |
Humidity | 40% ~ 70% |
