58620 激光半导体特性测试机
激光半导体为高科技产品,价格不斐,多数使用于光通讯/ 医疗/ 国防等领域,并
与人类社会息息相关。传统的激光半导体因价格高昂, 可靠性要求程度极高,需要大量的人工与时间来进行光路调整(Alignment) 测试与封装后的检测。致茂58620 为一全新概念机种,专为激光半导体(Laser Diode) 所打造设计,搭配自动化特性检测All-In-One 设计概念,可供不同的测试项目同时进行检测;搭配高容量的载具设计,可供多颗激光芯片(Chiplevel) 进行大量测试;另外藉由光学定位辅助(AOI),可提升自动化检测的速度与可靠性;高稳定性的温控平台设计,可让研发人员精确地了解激光半导体特性与温度的关系。
致茂58620 可应用于研发单位小量试产验证(Laboratory) 或是生产单位(Production),可有效提高激光半导体测试产出率(Throughput)。
产品性能特点
全自动化检测边射型激光半导体芯片
高精密及高容量载具设计
自动光纤耦合测试对位设计(Auto-alignment)
AOI辅助定位,加速测试时间
共享载具设计可搭配烧机测试
高精密TEC温度控制,稳定度达0.01℃
搭配Chroma PXI-Base SMU/Power meter
软件分析激光特性:Ith,Rs,Vf,Slope Efficiency,λp等
高精密多层次专利设计载具
致茂提供高精密载具(Carrier)供不同激光半导体使用,主要应用于边射型Edge-Emission激光使用(包括CoC,CoS,Laser-bar等),载具的设计为因应大量测试,制作为双边对称结构,最多可放置80颗待测物,特殊的多层次载具专利设计可让激光半导体不互相干涉并可靠的与探针结合进行测试。
此外,底层金属结构也特别考虑激光半导体的散热与均温性控制,操作人员只要将放
满激光半导体的载具放置在机台的入口处后(Loading/Unloading),即可One-Press 按钮进行完整的自动化检测。
共享载具
Chroma 58620藉由多年在半导体IC测试的经验与技术,发展共享载具与更换治具等概念并应用于激光半导体产业。传统在激光半导体前段测试过程中,需经过多次的烧机测试(Burn-In)与特性检测制程(Characterization),在更换载具的过程中常会损坏待测物减低良率,共享载具的好处可让研发或操作员只需要在第一次将激光半导体放置于载具中,即可在不接触待测物之下完成所有必要的检测,此设计亦可搭配Chroma 58601烧机测试机。然而,激光半导体的形式(Form Factor)于各家设计皆有所不同,而58620更换治具(Change Kit)的概念可符合世界上大多激光半导体的封装形式进行修改后即马上可进行量测,目前可使用的形式为Chip on carrier, Chip on sub-mount,Laser-bar等。
自动对焦系统与光学辅助定位
激光半导体有一大部分的应用于光通讯与电信工业的范畴内,如光收发器(Transceiver)等产品在组装前若能了解每颗激光半导体的特性或与直接测试光纤的耦合后的特性,能减低产品的失败率。Chroma 58620 测试系统中含有自动对焦系统(Auto alignment),可搭配不同种类的光纤与Focuser进行激光光最大功率点耦合并测试,当激光光达一定程度的耦合效率时,系统搭配光谱分析仪(OSA)进行分析了解激光半导体共振膜态,压制比例(Side More Suppression Ration)以及波长分析(λp,λc) 等;此外,利用光学辅助定位的原理(AOI)使得Focuser快速达到激光发光区(Emission Region)并进行搜寻最大发射功率点可加速测试,大幅减低光纤耦合调校时间与测试人力。
技术参数
Model | 58620 |
Device Under Test | |
Form Factor | CoC, CoS |
Channels in Carrier | 80 Channels per cycle *1 |
Current Ranges (Chroma Model 52401) | |
Current Range (Source & Measurement) | ±200nA / 2µA / 20µA / 200µA /2mA / 20mA / 200mA |
Current Resolution | ±1.6pA/±16pA/±160pA/±1.6nA/±16nA/ ±160nA/±1.6µA |
Current Accuracy (Source & Measurement) | I range ≥ 1mA : 0.1% + 0.1% FS ; I range < 1mA : 0.05%+0.2% FS |
Voltage Ranges | |
Compliance Voltage Range | ± 0.5V/1V/2.5V/5V/10V/25V |
Compliance Voltage Accuracy | ≥ 1V: 0.05% + 0.01%FS ; <1V: 0.05% + 0.1%FS |
Voltage Measurement | ± 3.8nV~ ± 25V |
Voltage Measurement Accuracy | 0.05% + 38nV @0.5V to 0.05% + 1.9mV @25V |
Test Parameters | |
Electrical | L-I-V Curves, Ith, Vf, Rs, Linearity (Kink) |
Spectral | Peak wavelength, SMSR, etc. |
Optical Spectrum Analyzer*(Optional) | |
Wavelength Range | 700 nm to 1700 nm |
Resolution Bandwidth | < 0.1 nm |
SMSR Measurement | > 40 dB |
Wavelength Accuracy | ±0.03 nm |
Optical Power Meter (Chroma Model 52962) | |
Channel | Dual channels |
Wavelength Range (InGaAs Based) | 900 to 1700nm |
Minimum Power / Current | -70 dBm |
Maximum Power / Current | +10 dBm |
Resolution | 0.01dB |
Dynamic Range | 80dB |
Accuracy | ±5% |
Linearity | 0.1dB |
Measurements per Second | >5000 |
Fibre Types Supported | 50/125um, 62.6/125um multimode and single mode fiber |
Form Factor | 3U PXI |
Thermal-Electrical Controller (Chroma Model 54130) | |
Output Power | 300W |
Temperature Range | 0 ℃ ~80℃ |
Temperature Accuracy | 0.3 ℃ |
Temperature Uniformity *3 | ±0.5℃ |
Cooling System | External chiller |
Mechanical Specification | |
Motion Stage Travel Distance | 400 mm |
Minima Fine Stage Resolution | 20 nm |
System Size (W x D x H) | 1000 mm x 1200 mm x 1350 mm |
System Weight | 400 ± 20 Kg |
Power Input | 220V single phase,50/60 Hz |
Water flow Rate | <3~5 lpm |
Operating Environment | Temperature : 20℃ ~25 ℃ ; Humidity : <70% |
Software | |
Operating System Supported | Microsoft Windows® 2000, XP or 7 |