产品介绍
INFICON Quantus HP100气体分析仪基于自等离子体光发射光谱技术(SPOES),旨在提供半导体制造过程中的实时泄漏检测、端点检测和过程监控。Quantus HP100具有出色的灵敏度,外形紧凑,提供宽广的操作压力范围,无需昂贵的泵,因此非常适合大多数半导体工具的过程监控和保护。
产品特点
氩气的操作范围为1 Torr - 450 Torr,氮气的操作范围为1 Torr - 120 Torr(其他气体种类则有所不同)
低检测限<1 ppm
使用标准KF25连接,安装方便
快速采样(最大20赫兹)
占地面积小(高x宽x长):6.4 x 6.0 x 8.3 in. [162 x 153 x 210 mm]
低维护,不需要泵或消耗品
方便的现场可更换的等离子池
为您的特殊工艺需求提供全球专家支持
技术参数
规格 | |
性能 | |
科技 | 集成微波微等离子体、光谱仪和射频电源的光学发射光谱 |
光谱仪性能 | 200 至 850 纳米波长 (UV-VIS) 16 位满量程分辨率,3648 像素 |
光学分辨率 | 1.34海里 |
曝光时间 | 最小 1 毫秒 |
采样频率 | 最大 20 Hz |
检测限 | < 1 PPM 级别(取决于应用) |
气体采样接口 | |
采样环境 | 氩气为1-450 Torr,氮气为1-120 Torr;工作范围因其他气体种类而异 |
真空接头 | KF25型 |
服務性 | 传感器单元可现场更换 |
通信类型 | 以太网电缆连接 |
设施 | |
工作温度范围 | 0 至 50°C(非冷凝,传感器单元 80°C) |
电源要求 | 24 V (dc) @ 2.5A (AC / DC转换器可用) |
隔离阀 | 自选 |