icon icon icon
banner图片
Image
Quantus HP100

瑞士INFICON 气体分析仪 Quantus HP100

品牌名称:瑞士INFICON

产品型号:Quantus HP100

产品规格
产品介绍
INFICON Quantus HP100气体分析仪基于自等离子体光发射光谱技术(SPOES),旨在提供半导体制造过程中的实时泄漏检测、端点检测和过程监控。
渠道商
产品详情

产品介绍

INFICON Quantus HP100气体分析仪基于自等离子体光发射光谱技术(SPOES),旨在提供半导体制造过程中的实时泄漏检测、端点检测和过程监控。Quantus HP100具有出色的灵敏度,外形紧凑,提供宽广的操作压力范围,无需昂贵的泵,因此非常适合大多数半导体工具的过程监控和保护。

 

产品特点

  • 氩气的操作范围为1 Torr - 450 Torr,氮气的操作范围为1 Torr - 120 Torr(其他气体种类则有所不同)

  • 低检测限<1 ppm

  • 使用标准KF25连接,安装方便

  • 快速采样(最大20赫兹)

  • 占地面积小(高x宽x长):6.4 x 6.0 x 8.3 in. [162 x 153 x 210 mm]

  • 低维护,不需要泵或消耗品

  • 方便的现场可更换的等离子池

  • 为您的特殊工艺需求提供全球专家支持

 

技术参数

规格


性能


科技

集成微波微等离子体、光谱仪和射频电源的光学发射光谱

光谱仪性能

200 至 850 纳米波长 (UV-VIS)   16 位满量程分辨率,3648 像素

光学分辨率

1.34海里

曝光时间

最小 1 毫秒

采样频率

最大 20 Hz

检测限

< 1 PPM 级别(取决于应用)

气体采样接口


采样环境

氩气为1-450 Torr,氮气为1-120 Torr;工作范围因其他气体种类而异

真空接头

KF25

服務性

传感器单元可现场更换

通信类型

以太网电缆连接

设施


工作温度范围

0 至 50°C(非冷凝,传感器单元 80°C)

电源要求

24 V (dc) @ 2.5A (AC /   DC转换器可用)

隔离阀

自选

 


相关产品
资料申请
在线留言