瑞士INFICON 残余气体分析仪 Transpector XPR 3+

产品介绍

新的 Transpector XPR 3+ 残余气体分析仪 (RGA) 提供业内领先的测量速度，以监测并控制现代半导体和显示屏生产所需的快速过程变化。Transpector XPR 3+ 非常适合于现场空气漏点、气体纯度、碳氢化合物和污染监测。相比定期上升率测试，Transpector XPR 3+ 进行的实时测量可提供卓越的产品保护

通过最大化工具使用时间促进盈利能力

Transpector XPR 3+ RGA 是用于溅射压力范围应用的经实践验证的四极和双离子源传感器。无需压力转换设备，部件使用寿命长，能快速检测并诊断问题，从而最大化工具可用性、产品吞吐量和产量。传感器可在高真空到 20 mTorr 范围连续工作，无需泵。Transpector XPR 3+ 双离子源腔室设计用于限制涂层，以保持离子源灵敏度，并延长传感器平均维护时间。

产品特点

• 从高真空到 PVD 流程压强条件下，能够高灵敏度地检测空气泄漏和污染，实时保护晶圆和面板

• 最大化 PM 效率和工具正常使用时间，具有快速可靠的腔室条件

• 通过延长使用寿命、防污染、双离子源设计最小化总体拥有成本；无需泵，即可监测高达 20 mTorr 的压强。低压 EM 变体可提供成本敏感的替代选择

• 通过强大数据采集与同步实现无缝工厂集成和可靠阻断

• 通过定制配方优化增强独特生产能力

• 通过即时现场专家响应保护关键过程需求

产品应用

• PVD 和溅射过程模块

• 预清洗模块

• 非群集 PVD 工具

• 夹钳式除气模块

技术参数