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Augent OPG550

瑞士INFICON 光学等离子体真空计 Augent OPG550

品牌名称:瑞士INFICON

产品型号:Augent OPG550

产品规格
产品介绍
INFICON Augent® 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。Augent将两种传感器技术结合到一个紧凑的设备中,用于监测1 x 10-7至5 mbar的气体类型,并同时测量从1 x 10-7 mbar到大气的总压力。
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产品详情

产品介绍

INFICON Augent® 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。Augent将两种传感器技术结合到一个紧凑的设备中,用于监测1 x 10-7至5 mbar的气体类型,并同时测量从1 x 10-7 mbar到大气的总压力。

Augent由一个集成的皮拉尼传感器保护,用于关闭20mbar以上的等离子体。快速光学测量原理原则上允许检测任何类型的气体。

 

产品特点

  • 高速检漏,可进行腔体检漏 

  • 提高生产率和产量 

  • 寿命长,不烧丝,有气涌保护 

  • 可承受工艺化学反应 

  • 智能算法,易于集成 

  • 设计紧凑,占地面积小 

  • 可靠、快速启动

 

产品应用

  • 腔体泄漏检查,更快的RoR(上升率)测试

  • 泄漏检查,发现气体供应管道的内部泄漏 

  • 实时终端控制 

  • 气体类型和浓度控制

 

技术参数

测量范围 N2

毫巴
  托

1×10-7 …   5
  (7.6×10-8 … 3.8)

精度 总压力读数 N2



1   x 10-7 ... 100 毫巴

读数百分比

30

100   ... 1000 毫巴

读数百分比

50

N2   总压力读数的重复性



1   x 10-7 ... 100 毫巴

读数百分比

5

温度



运行(环境)

°C

+5   … +50

存储

°C

-20   … +70

带电子装置的法兰处烘干

°C

<80

法兰处烘干(不含电子装置

°C

<120




电源电压



压力表

伏(直流)

+14.5   … +30

波纹

伏(p-p)

<1

耗电量

W

<5

连接保险丝

AT

1

暴露在真空中的材料



一般材料

一般材料

Al2O3,   不锈钢  1.4435

阳极

阳极

电离室

电离室

钛,不锈钢 1.4016

点火器

点火器

不锈钢 1.4310

 


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