产品介绍
INFICON Augent® 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。Augent将两种传感器技术结合到一个紧凑的设备中,用于监测1 x 10-7至5 mbar的气体类型,并同时测量从1 x 10-7 mbar到大气的总压力。
Augent由一个集成的皮拉尼传感器保护,用于关闭20mbar以上的等离子体。快速光学测量原理原则上允许检测任何类型的气体。
产品特点
高速检漏,可进行腔体检漏
提高生产率和产量
寿命长,不烧丝,有气涌保护
可承受工艺化学反应
智能算法,易于集成
设计紧凑,占地面积小
可靠、快速启动
产品应用
腔体泄漏检查,更快的RoR(上升率)测试
泄漏检查,发现气体供应管道的内部泄漏
实时终端控制
气体类型和浓度控制
技术参数
测量范围 N2 | 毫巴 | 1×10-7 … 5 |
精度 总压力读数 N2 | ||
1 x 10-7 ... 100 毫巴 | 读数百分比 | 30 |
100 ... 1000 毫巴 | 读数百分比 | 50 |
N2 总压力读数的重复性 | ||
1 x 10-7 ... 100 毫巴 | 读数百分比 | 5 |
温度 | ||
运行(环境) | °C | +5 … +50 |
存储 | °C | -20 … +70 |
带电子装置的法兰处烘干 | °C | <80 |
法兰处烘干(不含电子装置 | °C | <120 |
电源电压 | ||
压力表 | 伏(直流) | +14.5 … +30 |
波纹 | 伏(p-p) | <1 |
耗电量 | W | <5 |
连接保险丝 | AT | 1 |
暴露在真空中的材料 | ||
一般材料 | 一般材料 | Al2O3, 不锈钢 1.4435 |
阳极 | 阳极 | 钼 |
电离室 | 电离室 | 钛,不锈钢 1.4016 |
点火器 | 点火器 | 不锈钢 1.4310 |