icon icon icon
banner图片
首页 >仪器选型>选型工具
瑞士INFICON
 产品分类 
化学检测和公共设施监测
气体分析
检漏仪
回收和抽空
射频传感技术
真空计和控制器
产品目录
Image
Transpector MPH

瑞士INFICON 气体分析系统 Transpector MPH

品牌名称：瑞士INFICON

产品型号：Transpector MPH

获取报价 加入询盘
产品规格
产品介绍
持续上升的硅晶圆价格以及对成品的需求意味着废弃晶圆需要付出前所未有的代价。因此，在半导体制造中心了解过程并监测缺陷也变得更加重要。
资料下载
Image
说明书-瑞士INFICON Transpector MPH气体分析系统
161页
Image
产品资料-瑞士INFICON Transpector MPH气体分析系统
4页
渠道商
产品详情

产品介绍

持续上升的硅晶圆价格以及对成品的需求意味着废弃晶圆需要付出前所未有的代价。因此，在半导体制造中心了解过程并监测缺陷也变得更加重要。Transpector MPH 气体分析系统专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内一流的性能，有助于最大限度地提高芯片产量，降低工具停工时间。Transpector MPH 兼具总拥有成本低和平均故障间隔时间长的优点，在帮助您赢利方面的作用优于市面上的任何其他残余气体分析仪 (RGA)。
INFICON 利用在气体分析过程控制设备领域的专长制造的 RGA 具有行业领先的数据采集速度，可检分压强和信噪比最低。所有这些特性都不会牺牲 INFICON Transpector 气体分析仪一贯出色的可靠性。

 

产品功能

  • 最大模拟扫描和选定峰值的数据速率为每点 1.8 ms

  • TCP/IP 以太网连接

  • 双丝极

  • 可现场更换电子倍增器

  • 组合阳极、阴极和反射极丝极套件

  • 较短的传感器可降低安装占地面积

  • 九个数量级的动态量程

  • <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu）

  • 信噪比更高

  • 可调换传感器和电子元件

  • 传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装

  • 符合 RoHS 标准

 

技术参数


MPH100M

MPH100F

MPH200M

MPH200F

MPH300M

MPH300F

质量范围

100   amu

100   amu

200   amu

200   amu

300   amu

300   amu

最小可检测分压

2E-15   Torr

3E-13   Torr

3E-15   Torr

4E-13   Torr

4E-15   Torr

5E-13   Torr

灵敏度 (FC)

6E-4   A/Torr

6E-4   A/Torr

5E-4   A/Torr

5E-4   A/Torr

4E-4   A/Torr

4E-4   A/Torr

灵敏度 (EM)

500   A/Torr

NA

500   A/Torr

NA

250   A/Torr

NA

最大工作压力

5E-4   Torr

5E-4   Torr

5E-4   Torr

5E-4   Torr

5E-4   Torr


 


相关产品
资料申请
在线留言