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Transpector MPS

瑞士INFICON 质谱仪 Transpector MPS

品牌名称：瑞士INFICON

产品型号：Transpector MPS

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产品介绍
随着制造技术的进步和质量标准的变更，了解相关过程和保持产品质量比以往任何时候都显得更为重要。Transpector MPS 能够通过过程条件监控、污染检测和泄露检查
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说明书-瑞士INFICON Transpector MPS质谱仪
148页
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产品介绍

随着制造技术的进步和质量标准的变更，了解相关过程和保持产品质量比以往任何时候都显得更为重要。Transpector MPS 能够通过过程条件监控、污染检测和泄露检查，帮助您优化过程。Transpector MPS 为客户提供了 Transpector 品牌可靠的、价值非凡的 RGA 性能。
Transpector MPS 提供 100 amu 和 200 amu 型号，使您能够灵活地执行一般泄露检测、真空诊断和碳氢化合物分析等各种功能。此多功能性使 Transpector MPS 成为真空炉、热处理和真空涂层应用的理想选择。

 

产品功能

  • 双丝极

  • 可现场更换电子倍增器

  • 现场可更换的阳极、阴极和反射极丝组件

  • 可调换传感器和电子元件

  • TCP/IP 以太网连接

  • 较短的传感器可降低安装占地面积

  • 九个数量级的动态量程

  • 最大模拟扫描和选定峰值的数据速率为每点 3 ms

  • <1.5E-14 Torr 的 MDPP

  • 传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装

  • 符合 RoHS 标准

 

技术参数


MPS100M

MPS100F

MPS200M

MPS200F

质量范围

100   amu

100   amu

200   amu

200   amu

最小可检测分压

1.5E-14   Torr

2.6E-12   Torr

1.5E-14   Torr

2.6E-12   Torr

灵敏度 (FC)

3E-4   amps/Torr

3E-4   amps/Torr

3E-4   amps/Torr

3E-4   amps/Torr

灵敏度 (EM)

500   amps/Torr

NA

500   amps/Torr

NA

最大工作压力

5E-4   Torr

5E-4   Torr

5E-4   Torr

5E-4   Torr

 


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