瑞士INFICON 质谱仪 Transpector CPM 3

产品介绍

十多年来，INFICON Transpector CPM 一直是半导体行业市场领先的残余气体分析仪 (RGA) 过程监测系统。现在，Transpector CPM 3 通过集成经实践验证的泵送和进口系统与新型传感器和电子元件，达到业内领先的测量速度和灵敏度。Transpector CPM 3 是新型和现有半导体过程（例如，ALD、CVD、PVD 和蚀刻）的理想 RGA 过程监控器。

Transpector CPM 3 通过以下特性为合作伙伴提供经实践证实的投资回报率：

业内领先的测量技术、稳健的适应性架构、易于维护、出色的产品支持

产品功能

• ALD、蚀刻、CVD 和 300 mm 除气残余气体分析仪 — 实现实时过程监测和分析

• ALD 就绪，测量速度为每点 1.8 ms（每秒 555 点）

• 在大多数苛刻 CVD 和蚀刻应用中，展现出经实践验证的耐久性和可靠性

• 应用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 软件，由 INFICON 世界级应用专家提供支持，是一款强大的过程监测与诊断工具

• 紧凑尺寸 — 允许轻松集成到半导体生产设备

• Hexblock™ 含三个压力进口并减少表面积，以最小化表面反应时间和响应时间

• 电容隔膜计 (CDG) — CDG 允许用户监测过程压力，并自动保护系统不出现压力偏移

• 自动校准 — 确保长期数据稳定性和精度，以便进行各传感器和工具的腔室匹配

技术参数