产品介绍
INFICON Quantus LP100 气体分析仪为您的关键过程环境提供实时泄漏检测和端点检测。许多过程对泄漏都很敏感,或要求进行终点检测。Quantus LP100 是一种气体分析仪,专门用于实时应对敏感过程环境中的细微变化,以最大限度地减少报废,提高产出。
产品功能
方便的现场可更换等离子单元
使用标准 KF25 连接件方便地安装
更低的维护成本
低至 ppm 级的出色检测下限
工作范围为 10 mTorr 至 1 Torr
长期的可靠性:不需要泵
低拥有成本
快速的 10 Hz 采样频率
精致小巧:(高 x 宽 x 长)87 x 151 x 241 mm (3.4 x 5.9 x 9.5 in.)
有经验的现场培训 INFICON 工程师提供支持
技术参数
Operating pressure | 0.01 to 1 Torr (application dependent) |
Spectrometer performance | 200 to 850 nanometer wavelengths (UV-VIS) 16-bit full-scale resolution, 2048 pixels |
Detection limit | To low ppm levels (application dependent) |
Exposure time | Minimum of 1 ms |
Vacuum fitting | KF25 |