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Quantus LP100

瑞士INFICON 气体分析仪 Quantus LP100

品牌名称:瑞士INFICON

产品型号:Quantus LP100

产品规格
产品介绍
INFICON Quantus LP100 气体分析仪为您的关键过程环境提供实时泄漏检测和端点检测。许多过程对泄漏都很敏感,或要求进行终点检测。
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产品详情

产品介绍

INFICON Quantus LP100 气体分析仪为您的关键过程环境提供实时泄漏检测和端点检测。许多过程对泄漏都很敏感,或要求进行终点检测。Quantus LP100 是一种气体分析仪,专门用于实时应对敏感过程环境中的细微变化,以最大限度地减少报废,提高产出。

 

产品功能

  • 方便的现场可更换等离子单元

  • 使用标准 KF25 连接件方便地安装

  • 更低的维护成本

  • 低至 ppm 级的出色检测下限

  • 工作范围为 10 mTorr 至 1 Torr

  • 长期的可靠性:不需要泵

  • 低拥有成本

  • 快速的 10 Hz 采样频率

  • 精致小巧:(高 x 宽 x 长)87 x 151 x 241 mm (3.4 x 5.9 x 9.5 in.)

  • 有经验的现场培训 INFICON 工程师提供支持

 

技术参数

Operating   pressure

0.01   to 1 Torr (application dependent)

Spectrometer   performance

200   to 850 nanometer wavelengths (UV-VIS) 16-bit full-scale resolution, 2048   pixels

Detection   limit

To   low ppm levels (application dependent)

Exposure   time

Minimum   of 1 ms

Vacuum   fitting

KF25

 


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