产品介绍
INFICON 移动手推车允许 Transpector CPM(紧凑型过程监控器)成为移动故障排除工具。自带车使系统可以在工具之间搬运,它还具有可调节至各种工具高度的灵活性。机械臂机制使采样系统能够弯曲、旋转和垂直移动,这些优势使这款手推车成为狭小生产空间的理想选择。
产品功能
精致小巧 – 手推车的开放式结构及其“肘”形支架臂使得 RGA 能够与工具紧密耦合,而无需占用宝贵的地面空间。
完善的系统 – 手推车能够搬运或支持 Transpector CPM 系统及台式或笔记本电脑。它还有一个用于压缩空气、氮气、废气并为 CPM 系统提供动力的连接板。
提供 120 VAC 和 230 VAC 型号。
产品优势
灵活性 – 可以通过水平或垂直移动 CPM,使 Transpector CPM 靠近工具或真空系统,还能够旋转系统。
技术参数
Operating pressure | 0.01 to 1 Torr (application dependent) |
Spectrometer performance | 200 to 850 nanometer wavelengths (UV-VIS) 16-bit full-scale resolution, 2048 pixels |
Detection limit | To low ppm levels (application dependent) |
Exposure time | Minimum of 1 ms |
Vacuum fitting | KF25 |