瑞士INFICON 质谱仪 QMG 700-宜器服务网

产品详情

产品介绍

半导体制造技术中的快速进步依赖敏捷而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中，选择 INFICON QMG 700 分析质谱仪以突破检测障碍并促使您的过程进入更高层次的创新。QMG 700 的模块化设计带来无与伦比的性能和适应性。利用 QMG 700 增强竞争优势，获得出众的测量能力。

从多样化的离子源、滤质器和射频电源选项中选择适当的方案，以根据具体的应用量身定制 QMG 700。QMG 700 对超过九个数量级的动态量程和 ppb 检测限制引以为豪，这种特性使其成为超高真空测量的理想选择。QMG 700 可提供涵盖整个质量范围的单位分辨率，对于较低的质量甚至可获得更高的分辨率。该仪器是最具挑战性的测量应用的极好选择，包括同位素分析，例如氦和氘分离。通过 QMG 700 控制您的过程，并依靠其出色的长期稳定性来保护关键测量。

INFICON 在分析质谱仪领域拥有四十多年卓越的历史，可确保 QMG 700 成为下一代气体分析投资的正确选择。为了获得一致的精度和精确的结果，您可信赖 INFICON QMG 700 以及我们享誉世界的应用专长。

产品功能

质量范围选择从1-512 amu
超过9个量级的动态范围
极快的测量速度：0.125 ms/amu
MDPP < 10E-16 mbar
整个质量范围内分辨率高。质量1、2和3在ppb范围内可清晰分离
多种不同的离子源选择
分立或连续动态电子倍增器选项
IO选项：8个模拟输入/输出和32个数字输入/输出
功能强大的软件，界面灵活，用户友好

产品应用

气体排放质谱仪
终点检测
沉积材料监控
二次离子质谱仪

技术参数

	QMA 400	QMA 410	QMA 430
质量范围	1-512 amu (1)	1-340 amu (2)	1-300 amu
传感器长度	441.5 mm	548 mm	441.5 mm
杆直径	8 mm	16 mm	8 mm
杆材料	钼	钼	不锈钢
法兰	DN 63 CF-F	DN 100 CF-F	DN 63 CF-F
检测器类型	法拉第/SEV 217	法拉第/SEV 217	法拉第/SEV 217
最大工作压力 (FC)	1 E-4 mbar	1 E-4 mbar	1 E-4 mbar
最大工作压力 (EM)	1 E-5 mbar	1 E-5 mbar	1 E-5 mbar
灵敏度	5 E-4 A/mbar	1 E -3 A/mbar	2 E-4 A/mbar
最小可检测分压	1 E-15 mbar	5 E-16 mbar	1 E-15 mbar
分辨率（可调）	0.3 - 7 amu	0.2 - 2.2 amu	0.3 - 7 amu
分压比	< 0.5 ppb	< 0.5 ppb	< 0.5 ppb
最高工作温度传感器	150 °C	150 °C	150 °C
最高烘烤温度	400 °C	400 °C	400 °C
最高工作温度电子元件	40 °C	40 °C	40 °C
测量速度	0.125 ms - 60 s/amu	0.125 ms - 60 s/amu	0.125 ms - 60 s/amu
电源	100 - 240 VAC	100 - 240 VAC	100 - 240 VAC
(1) QMA 400 可用于质量范围：1-512 amu。 QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置。
(2) QMA 410 可用于质量范围：1-128 amu。 QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置。