瑞士INFICON 氦气检漏仪 UL6000

产品介绍

INFICON UL6000 氦气检漏仪旨在满足最为苛刻的泄漏检测应用的要求。UL6000采用INFICON专有软件算法I·CAL和HYDRO·S，采用经过现场验证的真空设计，提供了测试灵活性、高灵敏度和快速准确的结果，使任何泄漏检测应用程序快速而简单。

UL6000 在所有测试范围内均可实现快速响应，从达到测试条件到获得最终结果的整个周期时间极其短暂。此专门设计的真空架构可以提供持续高速的氦气泵速以及极其快的响应，能够满足您的需求。

泄漏检测既耗时又复杂。通过测量上升率（RoR），半导体和真空设备在运行过程中受到持续监控。在通过该整体泄漏测试显示泄漏后，使用氦气喷射（喷氦）方法定位泄漏位置，以便进行所需的维修。随后是另一次使用压力增加或所谓的真空衰减测量的泄漏测试——这是一个复杂的过程，需要重复进行，直到检测到所有泄漏。此外，为了尽可能精确，对于大的设备体积，该程序的测量时间通常特别长。得益于我们的智能上升率功能I·RISE，新的UL6000 Fab PLUS现在可以单独进行压力上升测量，并将其与氦气喷射(喷氦）方法相结合。我们的专利系统使测量时间大幅下降，从而有助于最大限度地减少泄漏测试和晶圆厂设备维护的一般时间。体验更快、更超前。

产品优势

• HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) 能够快速达到测试条件。

• UL6000 Fab PLUS - 其他优势

• 拥有I-RISE，我们的智能上升率： 提供设备内压力上升测试，并结合氦气喷射（喷氦）方法

• 在10秒内完成上升率的测量

• 有助于最大限度地减少泄漏测试和工厂设备维护的一般时间

• 更快，更精确

• I-CAL（智能 - 泄漏率计算算法） 确保对所有测试范围内的泄漏做出快速响应。

• 特殊的多进口涡轮分子泵可以在所有压力下提供最佳氦气泵速和高氦气压缩率，从而提供卓越灵敏度、快速响应和清洗。

• 涡轮分子泵可以对任何测试对象（包括最大容量和最大腔室）提供极其快速的响应。

• 经过验证的 INFICON 扇形磁场质谱仪采用无故障、免维护设计，历经数年仍可提供准确且可重复的结果。

• 自我保护功能可保护 UL6000 免受氦气和粒子污染，甚至还设有自动冲净周期，确保 UL6000 随时可用。

• 旋转式显示器/控制接口和可选远程手动控制器提供操作灵活性。

• 可通过软件启用对装置和系统软件的访问控制，从而阻止未经授权地使用或意外修改测试设定。

• 通过电子邮件升级软件，确保您的 UL6000 始终处于最佳工作状态。

• 新型工作站设计，带有最佳高度的工作台面，并且配备有防静电台垫和工具箱，便于测试。

产品应用

• 半导体和平板显示器工具上的测试元件、部件和大型腔室泄漏测试

• 半导体和平板显示工具的泄漏测试

• 航空元件、部件和系统的泄漏测试 

• 储存容器/储罐的泄漏测试

技术参数