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Sion

瑞士INFICON 弧检测器 Sion

品牌名称:瑞士INFICON

产品型号:Sion

产品规格
产品介绍
等离子体加工期间的电弧放电可造成靶和腔室损坏,因而导致基材受损并形成颗粒。随着特征尺寸的下降,微电子设备越来越容易出现电弧引发的损坏。
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产品详情

产品介绍

等离子体加工期间的电弧放电可造成靶和腔室损坏,因而导致基材受损并形成颗粒。随着特征尺寸的下降,微电子设备越来越容易出现电弧引发的损坏。电弧放电可出现在任何等离子辅助过程中,例如电离物理气相沉积 (iPVD)、等离子增强化学气相沉积 (PECVD) 和蚀刻。INFICON Sion 弧检测器可提供至关重要的第一道防线。Sion 能够快速检测到微弧并在明显损伤或废料出现之前对其作出反应。系统可对等离子微电弧事件进行实时检测和分析。

 

产品功能

便于改装到现有工具箱中

非侵入式传感器安装

高速数据采集 (250 kHz)

与 FabGuard 相集成的数据管理

 


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